판매용 중고 ULVAC IBS-6000 #9053705

ULVAC IBS-6000은 박막 증착을 위해 설계된 정교한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 무선 주파수 (RF) 또는 직류 (DC) 전력을 사용하여 고 에너지 입자로 이온화 된 가스를 생성합니다. 스퍼터링 과정에서, 이 가스는 증착실 내부의 표적 물질로 향한다. "가스 '의" 이온' 이 표적 물질 을 폭격 함 에 따라, 재료 는 얇은 "필름 '으로 절단 되어 기판 에 증착 된다. IBS-6000은 소형 디자인, 작은 설치 공간, 고성능 작동을 특징으로합니다. 이 장치는 쉽게 구성 할 수있는 고순도, 저압 공정 챔버 (low-pressure process chamber) 를 사용하여 다른 크기와 모양의 샘플을 처리 할 수 있습니다. 고급 데이터 측정 시스템 (Advanced Data Measurement Machine) 은 정확한 증착 과정을 보장하기 위해 기판 온도, 압력 및 이온 전류를 빠르게 기록합니다. ULVAC IBS-6000은 정확한 스퍼터링 기술을 제공하도록 설계되었습니다. 사용이 간편한 소프트웨어와 새롭게 개발된 셔터 (shutter) 메커니즘을 갖춘 자동화된 프로세스 설정으로, 필름 두께가 일관되게 유지됩니다. 이 도구는 또한 고출력 이온 소스와 고효율 필름 증착을 촉진하는 직류 모드를 특징으로합니다. 에셋은 또한 균일 한 스퍼터 증착을위한 중력 차폐 마그네트론 메커니즘 (gravity-shielded magnetron mechanism) 과 정확한 스퍼터 속도 제어를 위해 특별히 개발 된 드라이브 유닛 (drive unit) 을 갖추고 있습니다. 또한 IBS-6000은 정교한 in-situ 필름 두께 모니터를 통해 필름 두께를 정확하게 보장합니다. 이 모니터링 모델에는 스퍼터링 된 필름 두께 (sputtered film thickness) 의 변화를 실시간으로 감지하는 데 사용할 수있는 연속 필름 두께 측정 기술이 포함되어 있습니다. ULVAC IBS-6000 (ULVAC IBS-6000) 은 균일하고 두께가 일관된 박막을 생산하기 위해 설계된 다용도 고성능 스퍼터링 장비입니다. 정밀한 응용프로그램 (application) 과 정교한 시스템 (systems) 의 조합은 다양한 증착 프로젝트에 매력적인 선택입니다.