판매용 중고 ULVAC Entron #9244852

ULVAC Entron은 다양한 증착 공정을 위해 박막 제작에 사용되는 고급 스퍼터링 장비입니다. Entron 시리즈는 3 가지 모델 (단일 대상, 이중 목표 및 3 단계) 로 제공됩니다. ULVAC Entron 시스템은 다재다능하며 금속, 도자기, 폴리머 재료 등 다양한 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 3 개의 서로 다른 스퍼터링 음극이 장착되어 있으며, 단일 또는 다중 계층 증착을 위해 구성 할 수 있습니다. 이 장치에는 통합 터보 분자 펌프 (turbo molecular pump) 와 RF 전원 공급 장치 (sputter deposition rate) 를 사용하여 스퍼터 증착률을 조정할 수 있습니다. 이 기계는 또한 유도 결합 플라즈마 (ICP) 소스와 증착 과정에 대한 정확한 제어를 위해 집중된 전자 빔 (FEB) 소스를 가지고 있습니다. 엔트론 (Entron) 도구를 사용하여 특정 재료를 스퍼터링하는 경우 매우 미세한 분말에서 큰 솔리드 조각까지 다양한 타겟을 수용 할 수 있습니다. 에셋은 또한 조정 가능한 바이어스 전압 (bias voltage) 을 특징으로하며, 이는 예금의 스퍼터링 속도와 균일성을 세밀하게 조정하는 데 사용될 수 있습니다. ULVAC 엔트론 (ULVAC Entron) 은 자체 청소 모델로, 스퍼터링 프로세스가 완료되면 음극 및 양극 표면을 자동으로 청소합니다. 이렇게 하면 모든 재료가 교차 오염 없이 제대로 퇴적됩니다. 또한 엔트론 (Entron) 장비에는 챔버 온도 및 압력, 프로세스 시간, 대상 동작 속도 등 다양한 조정 설정을 제공하는 통합 컨트롤러가 제공됩니다. 이를 통해 증착 프로세스를 정확하게 제어 할 수 있습니다. ULVAC 엔트론 (Entron) 시리즈는 최대한의 안전성과 안정성을 위해 설계되었으며, 고급 자동 종료 (Auto-Shutdown) 시스템을 통해 비상 사태가 발생할 경우 프로세스를 자동으로 중지할 수 있습니다. 이렇게 하면 모든 재료 가 최상 의 안전 과 정밀 함 으로 처리 된다. 전반적으로 엔트론 (Entron) 시리즈는 최대한의 안전성과 신뢰성을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장치입니다. 증착 과정을 정확하게 제어하는 한편, 완전한 교차 오염 방지 (cross contamination prevention) 를 보장합니다. ULVAC Entron 머신은 다양한 증착 공정을 위해 매우 균일 한 박막 제작에 이상적입니다.