판매용 중고 ULVAC Entron #9235259

ULVAC Entron
ID: 9235259
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2010
Physical vapor deposition systems, 12" Process: Metal 2010 vintage.
ULVAC 엔트론 (ULVAC Entron) 은 다양한 산업 응용 분야에서 얇은 재료를 퇴적시키는 데 사용되는 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 1x10-3 Pa (1 x 10-3 Pa) 의 기본 압력에 도달 할 수있는 고급 진공실을 사용하여 이러한 정확한 증착에 적합한 제어 환경을 허용합니다. 챔버 (chamber) 자체는 매우 넓으며, 다양한 상세하고 복잡한 기판 어셈블리를 내부에 배치 할 수 있으며, 이는 다양한 유형의 표면에서 균일 한 증착에 이상적입니다. 엔트론 (Entron) 장치는 4 개의 마그네트론 스퍼터링 건 (magnetron sputtering gun) 을 사용하며 원하는 필름 매개변수에 따라 광범위한 작동 압력이 가능합니다. 이러 한 총 은 "티타늄 '," 알루미늄', "크롬 '," 스테인리스' 강철 및 기타 금속 이 될 수 있는 광범위 한 표적 재료 들 을 할 수 있다. 각 총은 다른 총과 독립적으로 작동 할 수도 있고, 동시 스퍼터링과 동기화 될 수도 있습니다. 이것 은 "머신 '을 이미 상당 히 제어 하고 있으며, 참으로 다양 한 증착" 옵션' 을 만든다. ULVAC Entron (ULVAC Entron) 도구는 또한 외압, 압력 및 기타 매개변수를 실시간으로 측정하는 많은 게이지 및 센서가 장착되어 있습니다. 이러 한 "센서 '들 은 방대 한 양 의" 데이터' 를 공급 하여 증착 과정 전체 에 걸쳐 정확 한 조정 을 할 수 있게 해 주며, 그 결과 로 생기는 "필름 '을 더욱 잘 제어 할 수 있게 해 준다. 엔트론 (Entron) 은 박막 증착을 더욱 통제하려는 사람들에게 매우 효과적이고 정확한 스퍼터링 자산 옵션입니다. 기판 어셈블리 배치, 필름 매개변수 (film parameters) 를 보다 효과적으로 제어할 수 있으며 매우 존경받는 기본 압력으로 실행됩니다. 4 개의 마그네트론 건 (Magnetron Gun) 은 독립적으로 또는 함께 작동 할 수 있으며, 시중의 다른 여러 시스템보다 더 다양한 기능을 가능하게하며, 광범위한 산업 응용을위한 논리적 선택입니다.
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