판매용 중고 ULVAC Entron #9159056

ULVAC Entron은 다양한 산업 응용 분야에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 그것은 반도체 웨이퍼 및 기타 평평한 기판에서 얇은 금속 또는 절연 산화물 필름을 생산하도록 설계되었습니다. 엔트론 시스템 (Entron system) 은 고주파 전기장을 사용하여 금속 스퍼터 대상 (metal sputter target) 과 기판 (기판) 사이에 호를 생성하여 표적에서 물질을 제거하고 물질을 기판으로 강착시킨다. 전기장 은 또한 표적 을 균일 하게 가열 하고, "기판 '의 3D 모양 을 주사 할 수 있게 하는 역할 을 한다. ULVAC Entron 스퍼터링 (Entron Sputtering) 장치에는 다양한 기능과 기술이 장착되어 있어 프로세스 반복성과 균일성이 향상됩니다. 여기에는 고급 프로세스 제어 알고리즘, 전자 압력 제어, 향상된 플라즈마 안정성 및 프로세스 균일성 보상이 포함됩니다. 엔트론 머신에는 멀티 소스 DC-마그네트론 스퍼터링 (Multi-Source DC-Magnetron Sputtering) 기술이 포함되어 있으며 스퍼터 대상 및 기판에 대한 데미지를 최소화하여 높은 증착률을 제공합니다. 이중 주파수 (Dual Frequency) 기술을 통해 마그네트론 전원 공급 장치를 독립적으로 제어 할 수 있습니다. 특허를 획득한 Substrate Guide (기판 가이드) 조작기는 높은 정확도를 제공하며 복잡한 3D 구성의 평면 기판과 기판 사이를 쉽게 전환할 수 있습니다. ULVAC Entron 도구는 프로세스 반복 가능성 향상, 균일성 향상, 전력 소비량 감소, 증착률 향상 등 기존의 스퍼터링 시스템에 비해 많은 이점을 제공합니다. 컴팩트 한 디자인으로 인해 매우 제한된 공간에서 대용량 생산에 이상적입니다. Entron은 반도체 웨이퍼, IC 포장, 전극 및 마이크로 일렉트로닉스, 스테인리스 스틸 및 마그네슘 기판, 장식 필름 등 다양한 응용 분야에 이상적인 스퍼터링 자산입니다. 또한 알루미나, 크롬, 이리듐, 몰리브덴, 티타늄 등 다양한 재료에 적합합니다.