판매용 중고 ULVAC Entron #9150538
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ID: 9150538
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2004
Physical vapor deposition system, 12"
Process: Metal
2004 vintage.
ULVAC Entron은 박막 재료의 증착을 위해 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 직류 (direct current), 펄스 DC (pulsed DC) 및 지시 스퍼터링 (directed sputtering) 을 사용하여 한 단위로 다양한 증착 프로세스를 제공합니다. 또한 최적의 필름 증착을 보장하기 위해 온도, 압력, 가스 흐름을 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 엔트론 (Entron) 은 다른 더 큰 스퍼터링 시스템에 비해 명확한 이점을 제공하는 컴팩트 한 디자인을 가지고 있습니다. 적은 설치 공간과 높은 전력 (Power) 기능으로 연구· 실험실 응용프로그램, 산업 생산에 적합하다. 컴퓨터는 최대 4 개의 전원 공급 장치 (source of power) 로 구성할 수 있으며, 각 소스는 다양한 전원 수준을 제공할 수 있습니다. 또한, 모든 소스는 독립적으로 또는 조합하여 작동하여 정확한 증착을 가능하게합니다. 균일하고 밀도가 높은 필름을 제공합니다. 최적의 필름 품질을 보장하기 위해 ULVAC Entron (ULVAC Entron) 에는 비활성 가스 공급, cryopump 및 온도 조절을 포함한 여러 옵션이 장착 될 수 있습니다. 이 도구는 또한 다수의 가스 및 잠수성 펌프와 호환되므로 반응성 가스 (reactive gas) 를 사용할 수 있습니다. 엔트론 (Entron) 자산은 또한 가장 높은 수준의 프로세스 안정성과 가장 낮은 수의 가스 누출 지점을 제공합니다. 이것은 최소한의 오염과 장기적인 반복 가능한 스퍼터 증착 과정을 보장합니다. 또한, 이 모델은 다른 스퍼터링 시스템에 비해 전력 소비가 낮습니다. ULVAC Entron은 여러 응용 프로그램에 적합한 다용도 장비입니다. 응용의 예로는 유전체, 금속, 도자기 또는 투명한 전도성 재료의 증착이 포함됩니다. 또한 박막 증착시 높은 반복성과 정확성을 제공합니다. 이러한 모든 이점을 고려할 때, 엔트론 (Entron) 은 신뢰할 수 있고 반복 가능한 결과가 필요한 소규모 및 대규모 스퍼터 증착 프로젝트 모두에 적합한 선택입니다.
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