판매용 중고 ULVAC Entron #9041421
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판매
ID: 9041421
Physical vapor deposition system, 12"
SMIF: no
Wafer type: notch
Software OS: UNIX
2004 vintage.
ULVAC Entron은 진공 처리 장비를 전문으로하는 일본 회사 인 ULVAC (Ultra Low Vacuum) 에서 생산 한 스퍼터링 장비입니다. 다양한 기판의 정확한 정밀 코팅을 가능하게 하는 고급, 고출력 (high-throughput) 생산 도구입니다. 광선 방전 음극 아크 플라즈마 기술을 기반으로 한 다재다능한 증착 시스템이며, RF 및 DC 응용 모두에 대한 합금, 산화물, 탄화물 등 다양한 스퍼터링 소스를 갖추고 있습니다. "엔트론 '장치 는 정확 한 대기 를 동시 에 조성 하도록 설계 되었으며, 각" 스퍼터링' 원 의 작동 조건 도 독립적 으로 조절 한다. RF 및 DC 스퍼터링 기능, 다중 소스 제어 및 자동 작업을 전환하는 기능을 갖춘 ULVAC Entron 은 매우 효율적인 스퍼터링 툴입니다. 이 기계는 또한 단일 소스 스케줄링 (source scheduling) 을 통해 기판의 로드 및 언로드를 허용하여 프로세스의 균일성과 반복성을 보장합니다. Entron 은 생산성 향상, 운영 비용 절감 등 다양한 이점을 제공합니다. 높은 처리율, 광범위한 재료를 처리할 수 있는 능력, 코팅 (coated) 표면을 정확하게 제어할 수 있어 탁월한 성능과 일관성을 제공합니다. ULVAC Entron의 다른 응용 프로그램 대기 조작 능력은 높은 수익률과 비용 효율적인 스퍼터링을 초래합니다. 또한, 이 도구는 다양한 응용 프로그램을 위해 매우 얇은 필름을 10 나노 미터 (10 나노 미터) 로 만들 수 있습니다. 엔트론 (Entron) 은 또한 ULVAC 고급 모니터링 및 제어 기술을 갖추고 있어 스퍼터링 프로세스를 완전히 제어 할 수 있습니다. 여기에는 기판의 실시간 모니터링, 필름 두께, 균일성 및 기타 매개변수가 포함됩니다. 또한, 이 자산은 사용자에게 친숙한 인터페이스와 강력한 소프트웨어 (software) 로 설계되어 사용자가 쉽게 설치, 운영할 수 있습니다. 이러한 기능의 조합으로 ULVAC Entron은 다양한 스퍼터링 어플리케이션을위한 이상적인 생산 도구입니다. 결론적으로, Entron 은 정확하고, 안정적이며, 효율적인 스퍼터링 시스템을 필요로 하는 사용자에게 강력한 도구입니다. 고급 기능 (Advanced Features) 과 기능으로 인해 산업 증착 응용 프로그램의 귀중한 자산이며, 신뢰할 수 있는, 높은 처리량 생산 도구를 제공합니다.
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