판매용 중고 ULVAC Entron W300 #293752709
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ULVAC Entron W300은 재료에 박막을 퇴적시키는 데 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 저압 인터페이스 (low-pressure interface) 를 갖춘 고성능 시스템으로, 증착 과정을 더욱 효과적으로 제어할 수 있습니다. 이 장치는 최대 4 개의 타겟을 수용 할 수 있으며, 조절 가능한 저압 스퍼터 (sputter) 환경을 통해 여러 기판, 즉 크기가 다른 기판에서도 균일성을 달성 할 수 있습니다. 고급 전원 공급 장치 설계는 필름 증착의 안정성을 제공하는 반면, 챔버 전압 (chamber voltage) 과 전류 (current) 는 필름 품질을 향상시킵니다. Entron W300 시스템에는 LCD 터치스크린과 GUI (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 설치와 작동이 간편합니다. 이 도구는 또한 이온화, 금속 또는 홍수 스퍼터 증착을 포함한 여러 프로세스 옵션을 지원합니다. 또한, 에셋에는 외부 RF 제너레이터 (RF Generator) 가 있으며, 이는 고주파와 고출력 입력을 처리 할 수 있으며, 대상 재료의 균일한 공간 적용 범위를 허용합니다. ULVAC Entron W300에는 증착 공정의 정확한 시뮬레이션 및 제어를 위해 자동, 닫힌 루프 프로세스 제어 모델이 장착되어 있습니다. 이 프로세스 제어 장비 (process control equipment) 를 사용하면 압력, 온도 및 기타 관련 매개변수를 실시간으로 모니터링할 수 있으므로 원하는 프로세스 매개변수가 달성됩니다. 엔트론 W300 (Entron W300) 시스템의 케이싱은 쉽게 청소할 수 있도록 설계되었으며, 광학 진공 조립은 공정 전체에서 증착층의 무결성을 보장합니다. 모듈식 설계를 통해 하드웨어, 소프트웨어, 액세서리를 사용자 정의할 수 있으며, 냉각 장치는 전력 분배를 최적화하고 적정 증착 온도를 유지합니다. 전반적으로 ULVAC Entron W300은 오늘날 시장에서 사용 가능한 가장 안정적이고, 정확하며, 비용 효율적인 참새 시스템 중 하나로 널리 알려져 있습니다. 고급 (advanced) 기능은 증착 과정에서 뛰어난 유연성과 제어를 제공하여 최고의 필름 레이어 (film layer) 품질을 제공합니다.
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