판매용 중고 ULVAC Entron W-40078 #9109099

ULVAC Entron W-40078 스퍼터링 장비 (Sputtering Equipment) 는 전도 및 절연 층 금속 및 합금의 증착을 위해 설계된 고급 물리적 증기 증착 (PVD) 도구입니다. 이 도구는 세라믹 도가니 및 드라이 펌프를 사용하여 높은 순도 환경을 생성합니다. 엔트론 W-40078 (Entron W-40078) 은 평면 패널 디스플레이 생산, 유연한 전자 제품, 센서 등 다양한 연구 및 제조 응용 분야에 이상적인 도구입니다. ULVAC Entron W-40078은 사용하기 쉬운 운영자 인터페이스로 설계된 반자동 기계입니다. 이 시스템은 DC 소스, RF 소스, 핫 필라멘트 소스 등 여러 스퍼터링 소스와 함께 사용할 수 있습니다. DC 소스는 최대 4kV, RF 소스는 최대 500W, 핫 필라멘트 소스는 최대 400V 를 생성할 수 있습니다. 이 장치에는 4 개의 독립적 인 프로세스 챔버가 포함되어 있으며, 사용자는 한 번에 최대 4 개의 다른 대상 재료를 배치 할 수 있습니다. 각 공정 챔버에는 자체 스퍼터링 소스, 독립 공정 가스, 압력, 온도 및 챔버 압력 모니터가 장착되어 있습니다. 이를 통해 기계의 고정밀 작동이 가능합니다. 예를 들어, 각 챔버에 대해 압력과 온도를 개별적으로 잡을 수 있습니다. 연산자 인터페이스는 각 챔버에 대한 배치 매개변수를 설정하는 간단한 방법을 제공합니다. 이 도구는 웨이퍼 전체에 균일 한 증착을 촉진하는 다중 레벨 디퓨저를 특징으로합니다. 또한 자동 로딩 메커니즘이 특징이며, 증착 중 웨이퍼를 정확하게 조작 할 수 있습니다. 엔트론 W-40078 (Entron W-40078) 에는 비상 정지 버튼, 안전 셔터, 전기 이상 자산을 모니터링하는 안전 모니터 등 여러 가지 안전 기능이 포함되어 있습니다. 이러한 기능은 모델이 안전하고 효율적으로 작동하도록 합니다. 결론적으로, ULVAC Entron W-40078은 연구 및 제조 응용을위한 이상적인 물리적 증기 증착 도구입니다. 사용자 친화적이며 웨이퍼에 금속과 합금을 정확하게 증착 할 수 있습니다. 이 장비는 또한 고급 안전 (Safety) 기능을 제공하여 시스템이 안전하고 효율적인지 확인합니다.