판매용 중고 ULVAC Entron T5 #9020575

ULVAC Entron T5는 일본 제조 회사 ULVAC에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 박막 재료로 대형 기판을 코팅하도록 설계된 소형 스핀 온 (spin-on) 시스템입니다. 엔트론 T5 (Entron T5) 는 스퍼터링 프로세스 (sputtering process) 를 사용하여 작동하며, 여기서 대상 원자를 기판에 쏘아 박막 층을 만듭니다. ULVAC Entron T5에는 대량 흐름 컨트롤러와 포물선 모양의 단일 평면 마그네트론 대상이 장착되어 있습니다. 이 구성은 효율적인 처리량 증착 프로세스를 제공합니다. 이 장치에는 최대 5000 W 출력의 전원 공급 장치 (power supply unit) 가 포함되어 있어 최대 필름 품질과 증착율을 보장합니다. Entron T5는 또한 증착실 내부의 온도를 미세하게 제어 할 수 있습니다. 이것은 강제 공기 냉각 장치 (forced-air cooling unit) 와 챔버 벽에 내장 된 전기 히터 (electric heater) 를 통해 달성됩니다. 이를 통해 재현성과 품질 보장을 위해 정확한 온도 조절이 가능합니다. ULVAC Entron T5는 또한 스퍼터링 프로세스 모니터링 머신 (sputtering process monitoring machine) 을 특징으로하며, 이는 항상 진공 압력, 전력 수준 및 필름 두께를 모니터링합니다. 이를 통해 배치 프로세스를 쉽게 모니터링 할 수 있습니다. 또한 "가스 '주입 장치 가 갖추어져 있어서 증착실 에" 가스' 를 제어 할 수 있다. 또한 엔트론 T5 (Entron T5) 는 다양한 스퍼터링 목표를 제공하여 다양한 유형의 재료 증착 요구 사항에 이상적입니다. 금속, 합금 및 유전체의 증착에 적합합니다. 또한, 이 스퍼터링 도구의 큰 챔버는 최대 800mm × 1000mm의 기질을 수용 할 수 있습니다. 최고 품질을 보장하기 위해 ULVAC (ULVAC) 는 제조 공정에 가장 큰 정밀도 표준을 통합했습니다. 자기장은 안정적인 자동 튜닝 회로로 안정화되고 생성되며, 초저진공 프로세스는 ULVAC 고급 소프트웨어로 모니터링 및 안정화됩니다. 전반적으로 ULVAC Entron T5는 작고, 고성능, 경제적으로 가격이 책정된 자산으로, 효율적이고 정확한 박막 코팅을 제공합니다. 그 기능으로 인해 다양한 박막 증착 응용 프로그램 (Thin film deposition application) 에 이상적인 선택이되었습니다.