판매용 중고 ULVAC Entron N300 #9314074

ULVAC Entron N300 스퍼터링 (sputtering) 장비는 스퍼터링 과정을 통해 얇은 필름을 기판에 입금하도록 설계된 산업용 장치입니다. 이 시스템은 고성능 진공 장치 (high-performance vacuum unit) 로 제작되었으며, 고온 베이킹 (high-temperature baking) 및 최후의 압력 (10-7 Pa) 및 환경 친화적 인 터보 분자 진공 펌프 (turbomolecular vacuum pump) 와 같은 기능을 제공합니다. 이를 통해 기계는 최대 300nm/min의 스퍼터링 증착률을 제공 할 수 있습니다. 이 도구에는 모듈 식 음극 소스가 장착되어 있으며, 다양한 스퍼터링 대상을 제공합니다. Cathod-less magnetron 스퍼터링 소스는 목표 침식 및 코팅 균일성까지 위해 설계되었습니다. 단일 파동 또는 이중 파동 양방향 스퍼터링과 같은 특수 코팅 프로세스도이 자산으로 수행 할 수 있습니다. 증착 진행 상황을 모니터링하기 위해 모델은 스퍼터링 (Sputtering) 전원 모니터와 빠른 응답 기하학적 조정을 통합합니다. 진공 장비 모니터는 시스템 압력과 구성을 정확하게 분석 할 수 있습니다. Entron N300의 챔버는 평평한 석영 창이있는 스테인레스 스틸 쉘로 구성됩니다. 오염이없는 증착을 보장하기 위해 좋은 가스 차폐 환경을 제공하도록 설계되었습니다. 챔버는 또한 카트리지 유형의 가스 배기 장치 (gas exhaust unit) 및 자동 압력 제어 장치 (automatic pressure control device) 와 통합되어 증착을위한 깨끗하고 순도 높은 공정 환경을 제공합니다. 또한, 이 시스템에는 제어 PC, 프로세스 데이터 메모리 및 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 가 장착되어 있어 뛰어난 자동화 엔드 유저 프로그래밍 기능을 제공합니다. 이를 통해 ULVAC Entron N300은 디스플레이 패널의 박막 증착에서 자동차 부품 코팅에 이르기까지 다양한 응용을위한 이상적인 증착 도구입니다.