판매용 중고 ULVAC Entron EX #9226068

ULVAC Entron EX는 반도체 생산에 사용되는 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이중 마그네트론 스퍼터링 시스템 (dual-magnetron sputtering system) 을 사용하여 기판의 퇴적 된 물질에서 높은 균일 성을 만듭니다. 이것은 칩에 고품질 장치를 생산하는 데 이상적입니다. ULVAC ENTRON-EX는 스테인리스 스틸 (stainless steel) 로 구성된 진공실을 가지고 있으며 10-5 torr 이상의 진공을 생성 할 수 있습니다. 자동 프로세스 컨트롤러 (Automated Process Controller) 와 함께 제공되어 증착 프로세스를 정확하게 모니터링하고 제어할 수 있습니다. 내부 온도 조절 장치 (internal temperate control unit) 는 증착 과정 동안 챔버를 안정적인 온도로 유지합니다. 엔트론 엑스 (Entron EX) 가 사용하는 마그네트론 스퍼터링 머신 (Magnetron Sputtering Machine) 은 높은 증착률로 우수한 접착 및 침식 내성을 갖는 독특한 재료의 고품질, 균일성 침전물을 생성 할 수 있습니다. 또한 마그네트론 스퍼터링 도구 (magnetron sputtering tool) 는 퇴적되는 물질을 정확하게 제어하여 필름의 두께와 균일 성을 더 잘 제어 할 수 있습니다. 이 자산에는 통합 소스 처리 모델 (source handling model) 이 포함되어 있어 진공실을 열지 않고도 쉽고 빠르게 소스 변경 (source change) 할 수 있습니다. 이는 운영 중 다운타임을 최소화합니다. 엔트론 엑스 (ENTRON-EX) 에는 긴급 정지 (Emergency Stop) 버튼, 자동 재시작 (Auto-Restart) 장비와 같은 여러 안전 시스템이 장착되어 있어 잘못된 작동을 피할 수 있습니다. ULVAC Entron EX는 다양한 응용프로그램을 위한 고품질 반도체 소자를 생산하기 위한 탁월한 선택입니다. 정확한 제어 (control) 와 매우 균일 한 예금 프로파일 (deposit profile) 을 통해 최고 수율과 품질 제어를 제공 할 수 있습니다. 비용 효율적이며 쉽게 구성하고 관리할 수 있습니다.