판매용 중고 ULVAC Entron EX #9195690

ULVAC Entron EX는 다양한 고급 재료 박막 응용을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 재현성이 높은 고속, 고정밀 및 고품질의 스퍼터링 증착을 제공합니다. ULVAC ENTRON-EX 시스템은 AC 스퍼터링 소스와 DC 스퍼터링 소스의 두 가지 구성 요소로 구성됩니다. AC 스퍼터링 소스는 금속 및 무기 화합물, 일부 산화물 박막 증착에 사용됩니다. DC 스퍼터링 소스는 광범위한 금속, 합금 및 IC 저항 필름의 증착에 사용됩니다. 이 장치는 일체형 평면 마그네트론 스퍼터링 구성을 사용하여 2 개의 스퍼터링 소스를 동시에 사용할 수 있습니다. 이 스퍼터링 구성은 이중 방향 마그네트론 스퍼터링으로 인해 고속 스퍼터링을 허용합니다. "자석 '에 의하여 생성 되는 자기장 과 기계 의" 셋업' 은 "타겟 '표면 에 높은 증착 속도 를 낸다. 이 도구에는 자동 보정기 (auto-compensator) 가 장착되어 있어 대상 영역 크기에 따라 전원 전압 (Power Source Voltage) 을 조정할 수 있습니다. 이 기능은 대상 표면 오염을 방지하고 전원의 전압 자동 조정으로 인한 폐기물 (Waste Material) 을 줄여 자산의 생산성을 높여줍니다. 또한, 모델은 대상 재료 (Target Material) 에 따라 다른 전압 (Power Source Voltage) 을 갖도록 설정 될 수 있으며, 이는 다른 박막을 증착 할 때 도움이됩니다. 이 장비는 플랫폼 운영 시 사용자 환경을 향상시키는 다양한 기능을 제공합니다 (영문). 진공 상태, 시스템 상태, 기타 중요한 정보를 실시간으로 표시하여 자동화할 수 있습니다. 또한 다양한 운영 모드 (Operation Mode) 를 제공하여 현재 요구 사항에 따라 높은 수준의 유연성을 제공합니다. 또한, 필요한 경우 효율적인 스퍼터링 프로세스 제어를 가능하게하는 비활성 가스 공급 장치 (inert gas supply unit) 가 있습니다. 전반적으로 엔트론 엑스 (Entron EX) 는 혁신적인 스퍼터링 유닛으로 다양한 응용프로그램에 대해 효율적이고 안정적인 박막 증착을 제공합니다. 추가 기능뿐만 아니라 고정밀도 및 고품질 스퍼터링 증착은 ENTRON-EX (ENTRON-EX) 를 박막 증착에 이상적인 플랫폼으로 만듭니다.