판매용 중고 ULVAC Entron EX #293597098
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ULVAC Entron EX는 박막 및 나노 재료의 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 안정적이고 일관된 결과를 제공하는 고급, 고정밀 장비입니다. 이 시스템에는 증착실, 전원 공급 장치 및 회전 마그네트론 스퍼터 건이 포함됩니다. ULVAC ENTRON-EX (ULVAC ENTRON-EX) 의 최대 열 전력은 140W이며, 사용자는 시중의 다른 스퍼터링 시스템보다 높은 온도에서 이 재료를 예금 할 수 있습니다. 이 장치는 금속, 반도체, 유전체 및 기타 재료를 포함한 다양한 소스 재료로부터 스퍼터링 (sputtering) 할 수 있습니다. "세라믹 '표적 은" 코우팅' 의 뛰어난 접착 과 수명 을 위한 고온 과 고열 전도성 으로 특징 을 이룬다. Entron EX는 나노 임프린트 리소그래피, 진공 증발, 물리적 증기 증착 (PVD), 반응성 스퍼터링, 기능성 고성능 코팅을위한 이온 도금 등 박막 증착 및 나노 물질 제작 분야의 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. 또한 균일성 및 두께 제어가 향상된 정확한 스퍼터링 제어 (sputtering control) 및 고속 정밀 코팅을 제공합니다. 또한, 이 기계는 광범위한 공정 매개변수 (process parameter) 를 즐기고 다양한 기판 크기와 모양을 제공하여 매우 다재다능합니다. ENTRON-EX는 DC Planar Sputter Gun을 사용하여 다양한 코트 용 기판에 균일 한 증착을 달성 할 수 있습니다. 이 도구를 사용하면 기존 시스템과 비교할 때 평면 (planar) 과 메쉬 (mesh) 대상 중 하나를 선택하여 다른 스퍼터링 효과에 액세스할 수 있습니다. 또한, 에셋에는 증착률이 빠르고 정밀도가 높은 멀티 노즐 모듈이 포함되어 있습니다. ULVAC Entron EX는 또한 다양한 안전 기능으로 제작되었으며, 운영자 안전을위한 보호기 후드를 갖추고 있습니다. 또한 온도, 압력, 습도 수준 및 전류 측정을 모니터링하여 최적의 모델 성능을 보장합니다. 장비에는 자동 침수 호 억제 기능 (automatic submerged arc suppression feature) 이 있으며, 스퍼터 영역 외부에서 전기 호가 감지되면 스퍼터 증착이 자동으로 중지됩니다. 이러한 모든 기능을 통해 ULVAC ENTRON-EX는 스퍼터링이 필요한 모든 애플리케이션의 안정적이고 경제적인 장비로 만들 수 있습니다. 정밀도, 유연성 때문에 안정적이고 일관된 결과를 제공할 수 있으며, 다양한 나노 재료 (nanomaterials) 와 박막 (thin film) 을 제작할 수 있습니다.
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