판매용 중고 ULVAC Entron EX W300T #293815144

ULVAC Entron EX W300T는 실리콘 웨이퍼 프로세싱에서 최적의 성능을 위해 설계된 강력하고 효율적인 스퍼터링 시스템입니다. 얇은 필름의 스퍼터 증착을위한 단일 웨이퍼, 단면 처리 장비입니다. 이 시스템의 기판 홀더 온도 범위가 섭씨 -70 ~ 400도 인 300mm 웨이퍼 스테이지가 있습니다. 웨이퍼 페데스탈 (wafer pedestal) 또는 지그 (jig) 와 함께 최대 5 개의 목표를 수용 할 수있는 6 개의 목표 디자인의 수평 증착실 디자인이 있습니다. 표적은 수평 회전 (horizontal rotation) 구성으로 장착되어 얇은 필름을 균일하게 증착할 수 있습니다. 이 제품은 프로그래밍 가능한 고성능 RF 전원 공급 장치 (최대 2000W) 를 갖추고 있어 웨이퍼를 쉽고 정확하게 스퍼터 (sputter) 할 수 있습니다. 고해상도 블레이드 스크레이퍼 (Blade Scraper) 와 개스킷 밀봉 장치 (Gasket-Sealing Unit) 를 장착하여 안정적인 에칭 및 필름 품질을 제공합니다. 공정 제어 소프트웨어 (process control software) 와 통합되어 더 나은 필름 특성을 제공하는 가스 및 압력 제어 머신 (gas and pressure control machine) 이 있습니다. 이 도구에는 자동 증착 프로세스를위한 높은 진공 여과 자산이 있습니다. 매우 얇은 웨이퍼를 손쉽게 처리 할 수 있도록 맞춤형 상하 정전기 척 (electrostatic chuck) 이 장착되어 있습니다. 고급 웨이퍼 (Wafer) 측정 모델을 통해 사용자는 퇴적된 필름의 두께와 균일성을 측정 할 수 있습니다. Entron EX W300T는 유지 보수가 쉽고 장기적인 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 또한 옵션 로드 잠금 (Load Lock) 장비를 통해 예제 로드 및 제거를 빠르고 쉽게 액세스할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC Entron EX W300T는 실리콘 웨이퍼를위한 훌륭한 스퍼터링 시스템입니다. 박막 증착에서 빠르고 효율적인 처리를 제공하며, 프로그래밍 가능한 RF 전원 공급 장치, 고해상도 블레이드 스크래퍼, 가스 제어, 자동 증착 제어 (automated deposition control) 및 측정 시스템 (measurement system) 과 같은 독특한 기능을 제공하여 필름 및 균일 증착을 정확하게 제어합니다.