판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9381852

ULVAC Entron EX W300은 물리적 증기 증착을 통해 박막 생산에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. ULVAC ENTRON-EX W300 (ULVAC ENTRON-EX W300) 은 유전체, 금속 및 저항 계층 구조를위한 다양한 재료를 증착 할 수있는 소형 데스크탑 스퍼터 시스템으로, 반도체 및 박막 증착 응용 모두에서 사용하도록 설계되었습니다. 스퍼터 장치는, 알루미늄, 금, 탄탈륨, 백금, 산화 알루미늄 및 이산화규소를 포함하여 표적 물질을 스퍼터 할 수 있습니다. ENTRON EX W 300은 작은 설치 공간과 낮은 무게 중심 (Center of gravity) 을 갖춘 수동 또는 자동 생산 라인에 쉽게 통합되도록 설계되었습니다. 게다가, 광학적으로 투명한 쿼츠 뷰 (quartz view) 포트는 이동 도어가 필요 없이 대상 재료와 기판을 명확하게 볼 수 있습니다. 특허를 획득한 자체 자석 프리 (magnet-free) 단일 축 DC 스퍼터 (sputter) 를 활용하여 유지 보수 및 가스 소비를 최소화하고 특허를 획득한 퀵 체인지 (quick-change) 스퍼터 인서트를 통해 대상 재료를 신속하게 전환할 수 있습니다. 기계의 진공 챔버 (vacuum chamber) 에는 저압 다이어그램과 먼지 수준을 줄이기 위해 전면 적재 자기 필터가 있습니다. 이 도구는 특허를 획득한 안전 셔터와 광범위한 자동 차단 자산 (Auto Shut Asset) 제어 옵션으로 인해 두께와 구성이 균일한 레이어를 생성할 수 있습니다. 자동 종료 모델 (Auto Shut Model) 을 사용하면 다양한 두께의 레이어를 배치할 때 사용자 정의 대상 전원, 대상 위치 및 냉각 시간을 사용할 수 있습니다. ULVAC ENTRON EX W300은 최신 PECVD (Plasma Enhanced Chemical 증기 증착) 기술을 통해 고밀도 핀 포인트 증착을 제공합니다. 마지막으로, 엔트론 엑스 W300 (Entron EX W300) 은 최신 소프트웨어 모니터링 및 진단 모니터링을 제공하여 원활한 작동을 보장하고, 최고 품질의 박막 증착을 제공합니다.