판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9353969

ULVAC Entron EX W300 스퍼터링 장비는 금속, 합금, 유전체 및 기타 재료를 기판으로 증착하도록 특별히 최적화 된 고급 PVD (Physical Vapor Deposition) 시스템입니다. 이 장치는 태양 전지에서 광전자 부품 (optoelectronic component) 에 이르기까지 다양한 응용을위한 박막을 만드는 데 이상적입니다. ULVAC ENTRON-EX W300의 기계 구성에는 2 개의 독립적 인 진공 실과 로드 잠금 메커니즘이있는 기본 장치가 포함됩니다. 이를 통해 최대 두 개의 기판 크기를 동시에 처리 할 수 있습니다. 다이렉트 드라이브 모터 드라이브 (Direct-Drive Motor Drive) 는 일관되게 반복 가능한 결과로 다양한 재료와 표면 마감에 대해 정확하고 반복 가능한 증착을 제공 할 수 있습니다. ENTRON EX W 300에는 ULVAC 현장에서 검증된 "PowerWave" 스퍼터링 도구가 장착되어 있습니다. 이를 통해 단일 증착주기 (single deposition cycle) 에서 독립적인 전원 설정을 가진 두 개의 다른 재료를 선택적으로 증착할 수 있습니다. 에셋에는 각 진공실에 4 개의 음극이 장착되어 있으며, 최대 4 개의 재료를 동시에 스퍼터링할 수 있습니다. ENTRON-EX W300에는 다양한 유형의 샘플과 기판을 수용하기위한 다양한 샘플 홀더 (sample holder) 와 지그 (jig) 가 추가로 장착되어 있습니다. 이를 통해 증착 과정에서 기판의 정확하고 반복 가능한 위치를 지정할 수 있습니다. 이것은 전체 표면에서 필름의 균일 한 범위를 보장합니다. Entron EX W300에는 통합 프로세스 제어판 및 최신 PLC 터치 스크린 컨트롤러를 포함한 고급 제어 시스템도 장착되어 있습니다. 따라서 전체 스퍼터링 프로세스를 자동으로 제어할 수 있습니다 (영문). 또한, 이 모델은 데이터 로깅 및 운영자 안내를 위해 다양한 다른 시스템에 연결할 수 있습니다. 전반적으로 ENTRON EX W300은 다양한 재료로 정확하고 고품질의 박막 제작에 이상적입니다. 자동화 된 제어, 정밀한 증착, 고급 지그 (advanced jig) 장비는 단일 증착주기에서 다양한 다른 물질의 균일 한 적용 속도와 반복 가능한 스퍼터링을 허용합니다. ULVAC ENTRON EX W 300은 신뢰할 수 있고, 비용 효율적이며, 고성능 스퍼터링 시스템으로, 다양한 씬 필름 어플리케이션에 적합합니다.