판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9282020

ULVAC Entron EX W300은 박막의 고급 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 효율적이고 신뢰할 수 있는 다양한 스퍼터 코팅 기술을 사용하여 고성능 자기, 광학, 투명, 전도성 박막을 만듭니다. 멀티 아크 스퍼터링 기술과 동적 2 극 펄스 파워 (dynamic bi-polar pulsed power) 및 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 과 같은 몇 가지 추가 코팅 옵션을 통해 정확하고 복잡한 필름 구조를 허용합니다. 이 기계는 완전 자동화 제어 모듈 (Fully Automated Control Module) 이 장착 된 주 장치, 유연한 기판 모양과 크기, 음극 무선 주파수 장치 및 혁신적인 마그네트론 제어 장치를 제공하는 독립적 인 동축 로더/로커 장치 (Independent Coaxial Loader/Locker Unit) 로 구성됩니다. 이 도구는 고품질의 초박형 필름을 스퍼터링할 수 있는 탁월한 성능을 제공합니다. 최대 필름 성능을 달성하기 위해 ULVAC ENTRON-EX W300은 클래식 비활성 스퍼터링, 반응성 스퍼터링, 음극 환형 스퍼터링, 큐브 콘 스퍼터링 및 이중 및 트리플 헤드 목표와 같은 다양한 스퍼터링 프로세스를 제공 할 수 있습니다. 이러한 프로세스는 복합 박막, 하드 코팅 및 다층 필름을 만드는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 균일성 향상뿐만 아니라 높은 증착률을 가능하게합니다. ENTRON EX W 300 자산은 스퍼터링 기능 외에도 쉽고 유연한 기판 처리를 허용합니다. 사용자는 웨이퍼 (wafer) 에서 사각형 (rectangular) 조각까지 다양한 크기와 모양의 기판을 쉽게 처리 할 수 있습니다. 기판 단계에는 커패시티브 엔드 포인트 검출 (capacitive end-point detection) 이 있어 표면에서 최적화 된 증착 균일성을 보장합니다. 이 모델에는 데이터 로거 (data logger) 가 장착되어 있어 데이터를 손쉽게 검사할 수 있습니다 (영문). 이 장비는 또한 RGA 분석을위한 프로세스 데이터를 획득하고 프로세스 매개변수를 최적화할 수 있습니다. 또한, 시스템은 온도 조절 기판 홀더를 장착 할 수 있으므로 온도 제어 처리 (temper-controlled processing) 를 수행 할 수 있습니다. ENTRON EX W300은 고성능, 최적화 된 증착 균일성, 수많은 프로세스 옵션을 제공하는 고급 스퍼터링 장치입니다. 광학 코팅 (optical coating) 과 박막 (thin film) 을 만들어 정밀 부품 제조에 이르기까지 많은 응용 분야에 적합합니다.