판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9282019

ULVAC Entron EX W300은 박막 재료를 기판에 증착시키는 데 사용되는 강력한 PVD (Physical Vapor Deposition) 스퍼터링 장비입니다. 산업 코팅에서 마이크로 일렉트로닉스에 이르는 응용 분야에 주로 사용됩니다. 다양한 재료의 고순도 금속 또는 산화물 박막 (thin film) 을 균일성 (unifority) 과 필름 무결성 (film integrity) 이 뛰어난 작은 영역으로 퇴적시키는 능력은 이러한 응용 분야에 이상적입니다. ULVAC ENTRON-EX W300은 운영이 쉽고 효율적인 다양한 기능을 제공합니다. 이 시스템은 애플리케이션에 따라 하나의 소스 (source) 에서 4개의 소스 (in-line) 구성까지 다양한 스퍼터 소스 구성을 제공합니다. 또한, 다양한 DC, RF 및 펄스 DC 스퍼터링 조합을 최적화 된 필름 품질에 사용할 수도 있습니다. 최대 4 개의 소스 인라인 (in-line) 구성은 또한 동일한 프로세스에서 여러 재료를 증착 할 수 있음을 의미하며, 이는 장치의 다양성을 증가시킵니다. ENTRON EX W 300에는 STD (Substrate Temperature Detection) 기능 및 LDM (Laser Density Measurement) 기능과 같은 광범위한 프로세스 모니터링 기능이 있습니다. STD 기능은 스캐닝 적외선 열그래피 머신 (scanning infrared thermography machine) 을 사용하여 스퍼터링 프로세스 중 기판 표면의 온도를 감지하고 LDM 기능은 레이저 빔을 사용하여 퇴적된 필름의 광학 밀도를 측정합니다. 이러한 기능은 증착 과정을 모니터링하고 고품질 필름 코팅을 보장하는 데 중요합니다. ULVAC ENTRON EX W300에는 최대 100 기판의 배치 공정이 가능한 효율적인 냉각 공구가 있습니다. 냉각 자산의 설계는 효율적인 온도 조절 및 균일 한 필름 증착을 가능하게합니다. 전체 모델은 사용자에게 친숙한 단일 터치스크린 인터페이스 (Touch Screen Interface) 에 의해 제어되므로 사용이 간편합니다. ENTRON EX W300은 높은 균일성, 뛰어난 영화 품질, 효율적인 운영으로 인해 자동차, 에너지, 의료와 같은 산업의 응용 분야에 적합합니다. 단일 배치로 최대 100 개의 기판을 처리할 수있는 장비의 다양성과 능력은 산업 코팅 (industrial coating) 및 기타 박막 (thin-film) 응용 분야에 이상적인 선택입니다.