판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9282018

ULVAC Entron EX W300은 정밀 코팅 프로세스 및 균일 한 박막 응용을 위해 설계된 병렬 마그네트론 기반 스퍼터링 장비입니다. 이 넓은 영역의 병렬 스퍼터링 시스템은 다중 전구체, 단일 동시 스퍼터 프로세스를 통해 넓은 웨이퍼에 걸친 코팅 품질 및 균일 한 증착을 개선합니다. ULVAC ENTRON-EX W300 장치는 각 스퍼터 소스를위한 통합 로드 잠금 챔버, 처리 실 및 독립 전원 공급 장치로 구성됩니다. W300 머신은 단일 챔버 (chamber) 에 여러 기판 홀더를 포함하는 독특한 디자인으로 인해 매우 높은 균일성을 얻을 수 있습니다. 이를 통해 단일 스퍼터 런을 사용하여 150mm 웨이퍼와 같은 넓은 지역에 균일 한 박막 코팅을 생성 할 수 있습니다. 이 도구에는 프로세스 결과를 최적화하기 위한 정확한 제어 및 정확성을 위한 Direct Diode Bias 전원 공급 장치가 있습니다. 또한 W300은 오염 문제를 방지하는 수직 (vertical load) 잠금 챔버 설계를 갖추고 있습니다. 강력한 DC/RF 전원 공급 장치, 이중 소스, 2 모듈 자산의 조합으로 향상된 박막 균일성 (Thin-film Unifority) 및 비 그림자 (Non-shadowed) 부분이 대형의 관형 기판에서 균일성을 향상시킵니다. ENTRON EX W 300은 또한 강력한 진공 장비를 갖추고 있어 서비스 수명과 신뢰성을 높이는 고활동 영화를 제작할 수 있습니다. 고동적 프로세스 제어는 또한 고정밀 코팅 프로세스에 이상적인 선택입니다. 이 시스템은 또한 반전 방지 및 고반사도 코팅과 같은 광학 박막 코팅에 적합합니다. ENTRON EX W300은 금속, 유리 및 세라믹을 포함한 다양한 기판과 호환됩니다. ULVAC ENTRON EX W 300은 다양한 응용 분야에 적합한 박막 코팅 장치입니다. 견고한 디자인과 높은 정밀도를 통해 정밀 코팅 프로세스와 균일 한 박막 응용 프로그램에 적합합니다. 이 기계는 또한 광학 박막 코팅에 적합하며, 다양한 기판과 호환됩니다.