판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9282017

ULVAC Entron EX W300
ID: 9282017
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2013
PVD System, 12" 2013 vintage.
ULVAC Entron EX W300은 다양한 산업 응용 분야에 적합한 고급 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 최대 크기가 78.74 "x 68.11" x 32.68 "인 컴팩트한 디자인으로, 모든 작업 공간에 추가되었습니다. 이 장치는 스퍼터링에 전기 자기 이온 빔 소스를 사용하며, 이는 전통적인 열 증발기보다 높은 증착률과 균일 성을 제공합니다. 이 기계는 또한 전동 표적 시프터, 로터리 피드 스루 (rotary feedthrough) 및 자동 기판 로더를 장착하여 진정한 자동 스퍼터링 프로세스를 만듭니다. ULVAC ENTRON-EX W300은 뛰어난 증착 균일성 및 금리 제어를 제공하도록 설계되었습니다. 스퍼터링 공정에서 이온 빔 기술을 사용하여 ENTRON EX W 300은 특히 수직 기판에서 우수한 증착 균일성을 달성 할 수 있습니다. 이 도구는 또한 광범위한 대상 전류 조정 설정 (target current adjustment settings) 을 가지고 있으며, 스퍼터 증착률을 미세하게 제어 할 수 있습니다. ULVAC ENTRON EX W300은 또한 비자기 전도 대상 (예: 구리) 에서 스테인리스 스틸 (stainless steel) 과 같은 자기 재료 (magnetic material) 에 이르기까지 다양한 대상 재료와 두께를 처리 할 수 있습니다. ENTRON-EX W300은 작동 및 유지 보수가 쉽습니다. 사용자에게 친숙한 GUI (Graphical User Interface) 를 사용하면 기판 회전 속도, 대상 위치, 배치 제어 설정 등의 매개변수를 직관적으로 제어할 수 있습니다. 또한 GUI 는 데이터 로깅 (data logging) 기능을 통해 배치 프로세스를 저장하고 모니터링할 수 있습니다. 또한, ULVAC ENTRON EX W 300은 최소한의 다운타임으로 안정된 프로세스 조건을 보장하는 전력 규제 자산 (Power Regulation Asset) 과 증착실 (Deposition Chamber) 을 빠르고 쉽게 청소 할 수있는 이중 챔버 청소 모델 (Dual Chamber Cleanse Model) 을 갖추고 있습니다. ENTRON EX W300 (ENTRON EX W300) 은 의료 기기 코팅에서 박막 커패시터 생성에 이르기까지 다양한 어플리케이션에 고품질의 스퍼터 증착이 필요한 산업에 적합한 선택입니다. 이 장비는 견고하고, 작동이 용이하며, 높은 균일성을 제공하여, 많은 산업 공정에 최적화된 솔루션을 제공합니다.
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