판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9275306

ULVAC Entron EX W300은 재료 처리 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 소형 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 증착 및 정밀 코팅 어플리케이션을 위해 향상된 생산성, 안정성, 정밀도를 제공합니다. 이 "마그네트론 '음극 은 균일 하고 균일 한" 필름' 증착 을 위하여 균일 하고 일관성 있는 "에너지 '원 을 제공 하는 고급" 마그네트론' 음극 을 특징 으로 한다. ULVAC ENTRON-EX W300에는 고화질 필름 품질을 용이하게하기 위해 in-situ 기판 난방 메커니즘, multi-zone load-lock 챔버 및 후면 이온화 챔버가 장착되어 있습니다. ENTRON EX W 300은 공정 처리량을 증가시키는 광대 한 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 를 가지고 있으며, 단계 크기가 4 인치인 기판 용량이 증가 할 수 있습니다. 이 장치는 스퍼터 음극을 위해 고효율의 2 단계 냉각기를 사용하여 최적의 음극 온도 및 장기 사용을 보장합니다. 공구에는 진공 펌프에 연결된 고 진공 스퍼터 가스 소스 (high-vacuum sputter gas source) 와 챔버와 하중 잠금 (load-lock) 사이를 교환하는 스퍼터 가스 (sputter gas) 의 직접 사료가 장착되어 있습니다. 또한이 자산은 비 전도성 기판에 증착하기위한 저압 스퍼터 프로세스를 제공합니다. 증착 품질 향상을 위해, 모델은 복잡한 필름 아키텍처를 처리할 수있는 기판을위한 회전 테이블 (rotation table) 을 갖는다. 여기에는 펠티어 캔 (Peltier-can) 장비를 사용한 자동 기판 로딩 및 언로드가 포함되며, 장치 내 깨끗한 환경을 유지하고 기판-플라즈마 인터페이스를 제어하기 위해 다중 영역 가스 제거 시스템 (multi-zone gas-purging system) 이 장착되어 있습니다. 또한 ULVAC ENTRON EX W 300은 시스템에 대한 원격 제어 액세스를 제공하는 독점 소프트웨어 패키지와 통합되어 간단한 작업 및 프로세스 모니터링을 제공합니다. ENTRON EX W300 (ENTRON EX W300) 은 여러 스퍼터 증착 응용 프로그램에 대한 뛰어난 필름 증착 및 제어를 제공하며 내구성이 뛰어난 재료로 제작되어 민첩하면서도 강력한 스퍼터링 도구입니다. 이 스퍼터링 자산은 자동차, 항공 우주, 전자, 생의학 및 광학을 포함한 산업에 이상적인 선택입니다.