판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9212275

ULVAC Entron EX W300은 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 뛰어난 스텝 커버리지 (step coverage) 로 얇고 균일 한 필름 (film) 을 제작할 수 있으며, 이는 전자 및 광학 부품 생산에 이상적인 선택입니다. ULVAC ENTRON-EX W300은 최대 8 개의 타겟으로 구성된 가변 너비 트랙 처리를 갖춘 다중 참조 진공 챔버를 갖추고 있습니다. 고급 펌핑 스테이션에는 사실상 기름이없는 이중 단계 터보 분자 펌프 (turbomolecular pump) 가 포함되어 있어 챔버를 10 ~ 5mbar 정도의 낮은 압력 수준으로 효율적으로 펌핑합니다. 또한, 이 장치에는 챔버에서 탄화수소 오염을 제거하는 흡수 열 (absoprition column) 이 포함되어 장기 성능 및 신뢰성이 향상됩니다. 이 기계는 또한 고급 필름 컴포지팅을위한 통합 RF 바이어스 (bias) 전원 공급 장치를 갖추고 있으며 스퍼터 증착율을 최적화합니다. 이것은 다중 챔버 압력과 결합 된 RF 바이어스 (bias) 를 사용하여 필름 증착 매개변수에 대한 정교한 제어를 가능하게함으로써 달성된다. 스퍼터링 전원 공급 장치는 다양한 양극 전압 (anode voltage) 에 빠르게 도달하고 "음성 스퍼터링 (negative sputtering)" 기능을 제공하여 전기 전도성 층을 샘플 기판에 배치하는 데 사용할 수 있습니다. ENTRON EX W 300은 매우 얇은 기판에서 훨씬 더 큰 기판에 이르기까지 다양한 기판 크기와 재료를 수용 할 수 있습니다. 효과적인 빠른 변경 모듈식 (quick-change modular) 설계를 도구에 통합함으로써 재보정 없이 다른 소스를 빠르게 변경할 수 있습니다. 이 기능은 다운타임을 없애고 최대의 자산 생산성을 보장합니다. 마지막으로 ULVAC ENTRON EX W 300에는 직관적이고 전체 그래픽 사용자 인터페이스를 통합 한 사용자 친화적 인 콘솔 모델이 있습니다. 이를 통해 수정 (corrective) 조치를 조정하거나 취하기 위해 제어 값을 쉽게 사용하고 해석할 수 있습니다. 완성 된 제품 은 신뢰성 이 높으며, 정확 한 필름 두께, 순도, 접착 능력 과 같은 뛰어난 재료 특성 으로 특징 을 이룹니다. 이것은 ENTRON EX W300을 박막 코팅 생산에 이상적인 도구로 만듭니다.