판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #9211053

ULVAC Entron EX W300 스퍼터링 장비는 다양한 어플리케이션에 이상적인 견고한 다기능 스퍼터링 도구입니다. W300은 아르곤 (Argon) 과 산소 (또는 다른 반응성 가스) 스퍼터링을 모두 제공하며, 최대 4 개의 총이 동시에 작동하며 기능 크기에 대해 1 밀리미터의 정밀도만큼 잘 제어됩니다. 높은 진공 챔버는 2 개의 웨이퍼 또는 최대 4 인치 라운드 기판 및 명목 가속 전압 500 볼트를 수용 할 수 있습니다. 이 장치는 Ar 스퍼터링의 경우 300 와트의 전력을 가진 Magnetron 스퍼터링 소스를 사용하거나 반응성 가스와 함께 사용하기 위해 600 와트를 사용합니다. W300은 R&D (R&D), 소규모 생산, 신소재 초기 평가 등 다양한 진공 및 스퍼터링 환경에서 견고성과 안정성을 제공하도록 설계되었습니다. 강력한 시스템은 또한 로컬 펄스 제어 (pulse control) 를 통해 고급 전원 조정을 제공하여 프로세스 매개변수를 완벽하게 제어할 수 있습니다. 사용자는 W300 (W300) 을 통해 재료 증착과 표면 처리를 동시에 실행하여 샘플 처리량을 높이고 유연성을 높일 수 있습니다. 프로세스 정확성 및 반복성 보장 외에도, W300은 통합 된 반도체 열 처리 기능도 갖추고 있습니다. 이 장치는 가열 라디에이터가 장착 된 멀티 존 쿼츠 (multi-zone) 쿼츠 적외선 램프를 사용하여 온도에 민감한 프로세스 작동을 위해 최대 800 ° C의 최적 가열 온도를 제공합니다. 고급 6 축 로봇 머신은 정밀한 탐색 및 반복 가능한 정확도로 멀티 스테이지, 멀티 트랙 처리 경로를 생성하며, 산화물 필름 레이어 제거, 레이어 박막 증착과 같은 프로세스를 최적화합니다. 마지막으로, W300은 직관적인 사용자 인터페이스 (user interface) 를 통해 사용자가 도구에 신속하게 적응하고 실시간, 데이터 순환화, 그래픽 디스플레이를 통해 정보를 유지할 수 있습니다. 내장형 안전 및 모니터링 시스템은 자산 데이터를 자동으로 모니터링하고 장애 상태 (fault condition) 시나리오를 방지하여 사용자를 보호합니다. 전반적으로 ULVAC ENTRON-EX W300은 광범위한 기판 관련 재료 처리 요구를 충족하도록 설계된 강력하고 안정적인 스퍼터링 모델입니다.