판매용 중고 ULVAC Entron EX W300 #293587264

ULVAC Entron EX W300은 까다로운 스퍼터 증착 어플리케이션을 위해 설계된 강력하고 다양한 고성능 스퍼터링 장비입니다. 첨단 기술은 높은 수준의 균일성, 최적 프로세스 제어 및 탁월한 박막 코팅 성능을 제공합니다. ULVAC ENTRON-EX W300에는 UHV 챔버에서 동시에 증착 할 수있는 2 개의 스퍼터링 소스가 있습니다. 근원은 독립적으로 또는 동시에 두 개의 다른 재료의 동축 스퍼터링 (coaxial sputtering) 에 사용할 수 있습니다. 각 소스에는 단일 또는 이중 대상 총 작동을위한 강화 된 스퍼터링 음극과 프로그래밍 가능한 웨이퍼 스테이지가 있습니다. ENTRON EX W 300 스퍼터링 시스템은 또한 뛰어난 반복성과 높은 프로세스 균일성을 제공합니다. 이 장치의 설계를 통해 사용자의 프로세스 요구에 따라 4 가지 구성이 가능합니다. 미디어 회전, 가스 흐름, 온도 설정을 자동으로 제어하기 위해 높은 수준의 정확도와 정밀도로 프로그래밍할 수 있습니다 (영문). 사용자는 기계 매개변수와 설정을 사용자정의하여 공구 성능을 개별적으로 업그레이드할 수도 있습니다 (영문). 다른 주요 기능으로는 종점 감지, 재료 매핑, 비 레이스 마스크 처리 및 온도 조절이 있습니다. 또한 ENTRON-EX W300 (ENTRON-EX W300) 은 챔버 내의 환경 온도를 모니터링하고 조정하기 위해 통합 냉각수 피드백 루프 및 온도 센서로 설계되었습니다. 이것 은 "스퍼터 '를 한 박막 층 이 최상 의 접착, 균일성, 일관성 을 얻게 하는 한편, 약실 이 항상 열 조절 을 받도록 한다. 자산은 또한 자동차 레시피, 에지 스퍼터링, 프로그래밍 가능한 목표 바이어스, 다중 웨이퍼 증착과 같은 다양한 자동화 옵션 및 고급 제어 기능을 제공합니다. Entron EX W300은 광전자, 고급 기판 및 반도체 장치를 포함한 다양한 박막 응용 프로그램에 대해 구성 될 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC ENTRON EX W300 스퍼터링 모델은 높은 속도, 균일 및 반복 가능한 증착 응용 프로그램에 적합한 탁월한 선택입니다. 고급 자동화 (automation), 뛰어난 성능, 유연성을 통해 최고 수준의 프로세스 제어가 필요한 박막 증착 (Thin Film Deposition) 프로세스에 이상적인 솔루션이 됩니다.