판매용 중고 ULVAC Entron EX W200S #9266623

ULVAC Entron EX W200S는 다양한 어플리케이션을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 필름 증착, 에칭, 패턴 및 기타 박막 응용 분야에 이상적입니다. 이 시스템은 우수한 진공 안정성과 안정성을 갖춘 탁월한 진공 환경을 제공하는 고급 터보 분자 펌핑 장치 (turbomolecular pumping unit) 를 갖추고 있습니다. Entron EX W200S는 4 차원 동작 기능이있는 챔버를 사용하여 정확한 샘플 조작을 허용합니다. 회전 가능한 기판 단계 (rotatable substrate stage) 와 특정 도의 기울기 가능한 스퍼터 대상 (tiltable sputter target) 이 있으므로 사용자는 다양한 각도로 예금을 통해 증착 품질을 향상시킬 수 있습니다. 비 접촉, 비 자성, 비 정류, 레이저 광 간섭계로 제어되는 기본 위치를 통해 동작의 높은 정밀도를 보장합니다. ULVAC Entron EX W200S는 알루미늄, 니켈, 크롬, 티타늄, 아연, 금, 은 및 합금과 같은 광범위한 재료와 호환됩니다. 이 "마그네트론 '은 6 개 의" 마그네트론' 원 을 "펄스 '동력 원 으로 제어 할 수 있다. 또한, 이온 빔 소스 (ion beam source) 는 증착 된 박막을 매끄럽게하고 기판에 접착력을 증가시키는 데 도움이됩니다. 스퍼터링 프로세스는 직관적인 그래픽 사용자 인터페이스 (Graphical User Interface) 를 통해 온보드 프로세스 관리 소프트웨어에 의해 크게 자동화되었습니다. 안정적인 반복성으로 복잡한 다단계 스퍼터링 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계에는 기판 온도, 압력, 전류, 전압 등 다양한 프로세스 모니터링 옵션이 있습니다. 마지막으로, 실시간 온라인 연동 (interlock) 도구를 사용하면 자산의 안전한 운영을 보장할 수 있습니다. 결론적으로, Entron EX W200S는 사용자에게 신뢰할 수있는 박막 증착 및 에칭 결과를 제공하는 강력하고 정확한 스퍼터링 모델입니다. 높은 신뢰성과 우수한 결과를 요구하는 모든 실험실에 적합합니다.