판매용 중고 ULVAC Entron EX 300 #293757020
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ID: 293757020
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2008
Sputtering system, 12"
(8) Chambers
(3) Port stages
Transfer robot
Turbo pump
Cold trap
Valve
Wafer lifter mechanism
Shield lifter mechanism for process
Wafer heating system
Cathode unit
MFC: Ar, N2, O2, H2
Vacuum inverter
Filter
Transfer module:
Tandem core (FX & RX)
(2) Transfer robots
(2) Loadlocks
Cryo pump
Compressor
Roughing and Foreline dry pump
Pressure gauge (Pirani / Ion)
Valve
User Interface:
Platform controller
Process controller
Utility controller
Host interface
Process Module:
FX:
F1
F2 (TTN)
F3 (Degas)
F4 (Al)
RX:
R1 (Oxidation)
R2 (3Gun)
R3 (Ru)
R4 (3Gun)
Process gas:
Ar: 0.1~0.3 MPa
P-Ar: 0.4~0.6 MPa
N2: 0.1~0.3 MPa
H2: 0.1~0.3 MPa
O2: 0.1~0.3 MPa
Components:
AC Rack
Heater power rack
Utility rack
Power supply
Does not include Hard Disk Drive (HDD)
2008 vintage.
ULVAC Entron EX 300은 다양한 연구 및 산업 응용 분야에서 고성능 박막 증착을 위해 설계된 최첨단 스퍼터링 장비입니다. 이 고급 시스템은 최첨단 (State-of-the-art) 기술을 통합하여 박막 증착 프로세스를 정확하게 제어하여 광범위한 박막 코팅 (Thin Film Coating) 요구 사항에 이상적인 솔루션입니다. 엔트 론 EX 300 (Entron EX 300) 의 핵심에는 스퍼터링 기술이 있으며, 이는 PVD (Physical Vapor Deposition) 프로세스를 사용하여 박막 (Thin Film) 을 뛰어난 정확도와 균일 성을 가진 기판에 입금합니다. 이 장치에는 정교한 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 가 장착되어 고밀도 플라즈마를 생성하여 표적 재료를 기판에 효과적으로 스퍼터링하여 균일 한 코팅 두께와 탁월한 필름 품질을 제공합니다. ULVAC Entron EX 300의 주요 기능 중 하나는 고급 제어 및 모니터링 기능입니다. 이 기계에는 사용자 친화적 인 인터페이스가 장착되어 있어 운영자가 전력 (power), 압력 (pressure), 가스 유량 (gas flow rate) 과 같은 증착 매개변수를 정확하게 조정하여 박막 성장 조건을 최적화할 수 있습니다. 증착 매개변수의 실시간 모니터링을 통해 연산자는 증착 (deposition) 프로세스에 대한 엄격한 제어를 유지하고 여러 배치에 걸쳐 일관된 필름 특성을 달성 할 수 있습니다. 엔트론 EX 300 (Entron EX 300) 은 고급 제어 기능 외에도 기판 처리 및 처리에 높은 유연성을 제공합니다. 이 도구는 다양한 기판 크기와 재료를 수용 할 수 있으며, 다양한 박막 코팅 (thin film coating) 용도에 적합합니다. ULVAC Entron EX 300은 금속, 산화물, 질화물 또는 기타 재료를 증착하는지 여부에 관계없이 전자, 광학 및 고급 재료와 같은 업계의 연구원 및 제조업체의 특정 요구를 효율적으로 충족 할 수 있습니다. 또한 Entron EX 300은 높은 생산성과 안정성을 제공하도록 설계되어 안정된 운영 및 낮은 유지 관리 요구 사항을 충족합니다. 이 자산에는 강력한 진공 부품 (vacuum component) 과 정밀 계측 (precision instrumentation) 이 장착되어 확장된 동작 기간 동안 진공 무결성 및 증착 정확성을 유지합니다. 이러한 신뢰성은 산업용 사용자의 까다로운 생산 요구사항을 충족시키는 동시에 연구개발 (R&D) 애플리케이션을 위한 일관된 성능을 보장하는 데 필수적입니다. ULVAC Entron EX 300에는 운영 중 운영자와 장비 모두를 보호하기 위해 고급 안전 기능이 있습니다. 안전 연결 (Safety Interlock), 비상 종료 메커니즘 및 종합 모니터링 시스템은 사고를 예방하고 박막 증착 과정과 관련된 위험을 최소화합니다. 이러한 안전 (Safety) 기능을 통해 이 모델은 업계 표준과 규정을 준수할 수 있으며, 광범위한 애플리케이션을 위한 안정적이고 안전한 솔루션이 됩니다. 결론적으로 Entron EX 300은 다재다능하고 고성능 스퍼터링 장비로, 박막 증착 프로세스에 대한 정확한 제어, 유연성, 신뢰성 및 안전성을 제공합니다. 고급 기술과 사용자 친화적 인터페이스 (User-Friendly Interface) 를 갖춘 이 시스템은 우수한 품질과 일관성을 갖춘 뛰어난 박막 코팅 (Thin Film Coating) 을 추구하는 연구자와 제조업체에 이상적인 선택입니다.
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