판매용 중고 ULVAC Entron EX 300 #293592005
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ID: 293592005
웨이퍼 크기: 12"
빈티지: 2012
Multi-chamber sputtering system, 12"
(8) Chambers
2012 vintage.
ULVAC Entron EX 300은 다양한 재료 코팅 응용 분야에 사용되는 산업 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 균일 한 박막 (thin film) 을 높은 속도와 낮은 비용으로 기판에 효과적으로 배치하여 대용량 생산에 적합합니다. 멀티 아크 단위로서, 유전체, 금속, 합금 등 다양한 재료를 코팅 할 수 있습니다. Entron EX 300은 다양한 크기의 기판 (최대 450mm) 에 균일 한 박막을 입금하도록 설계되었습니다. 이 기계는 높은 생산 속도와 필름 두께, 접착 및 광학 특성을 정확하게 제어합니다. 또한 엔트론 (Entron) 의 형상을 사용하면 여러 호를 정확하게 배치하고 기판 위치를 정확하게 정렬할 수 있습니다. ULVAC Entron EX 300은 낮은 기판 온도에서 작동하여 열 손상없이 복잡한 물질을 빠르게 증발 할 수 있습니다. 또한 엔트론 엑스 300 (Entron EX 300) 은 다양한 고객 요구 사항을 충족할 수 있도록 예금 속도와 균일성을 정확하게 제어합니다. 비활성 가스 비활성 이온 소스 및 통합 진공 도구와 결합 된 ULVAC Entron EX 300은 고속 및 초저압에서 정확한 스퍼터링 (sputtering) 을 할 수 있습니다. Entron EX 300에는 뛰어난 성능을 보장하는 몇 가지 기능이 있습니다. 소프트웨어 (Software) 는 편리하고 편리한 매개변수 설정을 위해 제공되며, 우수한 반복 기능을 제공하면서 다양한 설정 포인트를 제공합니다. 다층 프로세스 제어 (multilayer process control) 옵션은 스퍼터링 증착의 정밀도를 더욱 높이고 일관된 결과를 허용합니다. 또한, 공정 제어 자산은 생산을 단순화하고 웨이퍼 (wafer) 에서 웨이퍼 (wafer) 로 반복 가능한 결과를 산출합니다. ULVAC Entron EX 300은 박막의 균일하고 정확한 증착에 이상적인 모델입니다. 생산자들에게 엄격한 공차를 지닌 대용량 제품을 생산할 수 있는 효율적이고 비용 효율적인 방법을 제공합니다 (영문). 탁월한 프로세스 제어 및 고급 기능을 갖춘 이 ULVAC 멀티 아크 스퍼터링 (multi-arc sputtering) 장비는 다양한 코팅 어플리케이션에 적합합니다.
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