판매용 중고 ULVAC ei-7L #9275223

ULVAC ei-7L 스퍼터링 장비는 다양한 기판에 박막 증착을위한 다기능 도구입니다. 반응성 마그네트론 스퍼터링을 사용하며 지능적인 프로세스 제어 및 최적화 기능을 제공합니다. 세밀하게 구분 된 자동화는 다양한 복잡한 전자 기기 (electronic device) 로부터 웨이퍼 (wafer) 또는 기판에 얇고 정확한 박막 적용을 제공합니다. 모듈식 구성을 통해 통일되고 최적화된 처리가 가능하므로 운영 라인 워크플로우와의 효율적인 통합이 가능합니다. ULVAC EI-7 L (ULVAC EI-7 L) 은 다양한 주변 장치 및 공정 장비를 수용할 수있는 유연한 챔버 설계를 특징으로하며, 다양한 기판 크기와 필름 증착 프로세스를 지원합니다. 이 시스템은 빠른 프로세스 변경을 위해 스퍼터 (sputter) 대상을 쉽게 대체하도록 설계되었습니다. Ei-7L (Ei-7L) 에는 높은 기질 온도에서도 정확하고 균일 한 전자 폭격을 허용하는 활성 자기장 스퍼터링 소스가 있습니다. 이를 통해 박막을 기판 표면에 최적으로 준수할 수 있습니다. 첨단 반응 전달 장치는 오염을 제거하고 전기 누출을 방지합니다. 또한 동시 작동 및 효율적인 열 관리를 위해 배기 장치 (Exhaust Machine) 및 냉각 도구를 내장했습니다. 또한, EI-7 L은 저온, 환경 친화적 인 프로세스에 사용될 수 있으며, 중간 ~ 높은 진공 수준에서 작동 할 수 있습니다. 스퍼터링 자산은 손쉬운 작동, 수동 작동, 손쉬운 유지 관리를 위해 구성됩니다. 자동화된 데이터 통합 및 실시간 그래픽 프로세스 제어 (Graphical Process Control) 옵션이 포함된 소프트웨어 모델이 내장되어 있습니다. 이 장비는 최소한의 폐기물로 고품질의 반복 가능한 결과를 낼 수 있습니다. 저전력 소비량 (Low Power Consumption) 을 통해 운영 비용을 절감하고, 모듈식 설계를 통해 빠르고 간편한 재구성 및 유지 보수가 가능합니다. ULVAC ei-7L은 또한 원 터치 보정 (one-touch calibration) 을 가지고 있으며 증착 중 스파크 또는 정적 충격을 방지하여 운영자의 안전을 증가시킵니다. 전반적으로 ULVAC EI-7 L은 강력하고 다양한 스퍼터링 시스템으로, 안정적이고 안전하며 에너지 효율적입니다. 일관성 있고 정밀한 증착을 보장하는 여러 가지 고급 (advanced) 기능이 있으며, 모듈식 설계를 통해 다양한 박막 증착 프로세스를 손쉽게 사용자 정의할 수 있습니다. 이 장치는 다양한 생산 라인 (production line) 어플리케이션에 적합하며, 탁월한 성능을 제공하여 박막 증착 프로세스에 이상적인 선택입니다.