판매용 중고 ULVAC ei-7L #9236127

ULVAC ei-7L은 Vacuum Science and Technology를 전문으로하는 다국적 회사 인 ULVAC Inc.에서 생산 한 스퍼터링 장비입니다. ULVAC EI-7 L은 마그네트론 스퍼터링 프로세스를 사용하여 실리콘 웨이퍼, 쿼츠 크리스탈, 세라믹 또는 글래스와 같은 기판에 얇은 필름을 증착합니다. 고주파 AC 전원 공급 장치를 활용하여 저온 플라즈마 (Plasma) 를 생성하고, 이어서 박막을 기판에 입금하는 데 사용됩니다. 이 스퍼터링 프로세스는 선형 또는 회전 평면 대상으로 수행 할 수 있습니다. Ei-7L에는 최대 5kW의 DC 스퍼터링 전력과 최대 3kW의 AC 전원이 있습니다. 초고진공에서 대기까지 광범위한 챔버 압력으로 작동 할 수 있습니다. 4 인치 웨이퍼를 8 인치 웨이퍼까지 장착 할 수있는 내부 챔버 크기가 특징입니다. 프로세스 온도는 최대 400 ° C까지 유지 할 수 있습니다. 또한 자동 압력 제어 시스템 (Automatic Pressure Control System) 이 장착되어 있어 챔버 내에서 압력을 모니터링, 조정하고 원하는 수준으로 유지할 수 있습니다. EI-7 L (EI-7 L) 은 기판과 표적이 챔버 내에서 자유롭게 움직이고 회전 할 수있는 정교한 로봇 암으로 제작되었습니다. 얇은 물질을 금속, 반도체, 절연체, 폴리머 등과 같은 기판에 증착시키는 데 널리 사용됩니다. 스퍼터링 프로세스는 평면 패널 디스플레이 (Flat Panel Display), 태양 전지, LED 등 다양한 응용 프로그램에 사용될 수 있습니다. ULVAC ei-7L은 전원 공급 장치와 스퍼터 챔버 (sputter chamber) 사이의 임피던스와 일치하는 고급 RF 일치 장치를 갖추고 있습니다. 또한 "스퍼터링 '과정 중 에" 챔버' 의 온도 를 유지 하는 정교 한 냉각기 를 갖추고 있다. 고급 제어 도구를 사용하여 프로세스 매개변수 (예: 시간, 전원, 전압, 압력) 를 모니터링하고 제어할 수 있습니다. ULVAC EI-7 L은 광범위한 재료와 기판을 스퍼터링 할 수있는 다재다능한 스퍼터링 에셋입니다. 그 "필름 '은 소량 의 재료 로도 높은 속도 로" 필름' 을 입금 할 수 있다. 높은 수준의 호환성과 정교한 제어 시스템을 갖춘 ei-7L (ei-7L) 은 안정적이고 고품질의 박막 (박막) 을 만드는 데 적합합니다.