판매용 중고 ULVAC EI-7K #9402679

ULVAC EI-7K는 선도적 인 진공 처리 장비 제조업체 인 ULVAC Systems, Inc.의 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 "스퍼터링 '장치 는 광범위 한" 응용프로그램' 을 위한 "박막 '의 증착 을 위한 완전 한 자동" 스퍼터링' 장치 이다. ULVAC EI 7 K는 다양한 기판에서 매우 얇고, 균일하며, 등각 코팅뿐만 아니라, 우수한 접착 특성을 가진 두꺼운 필름 기판을 생성 할 수 있습니다. 이 장치에는 솔리드 스테이트 이온 소스 (solid state ion source), 선택적 스퍼터링 (selective sputtering) 및 반응성 스퍼터링 (reactive sputtering) 과 같은 다양한 기술이 장착되어 뛰어난 성능과 코팅 품질을 보장합니다. EI-7K에는 고급 8 표적 스퍼터링 음극 진공 증착 (CVD) 머신이 장착되어 있어 높은 수준의 프로세스 제어가 가능합니다. 가스 압력, 이온 전류, 챔버 온도, 마그네트론 전류 등 다양한 조정 가능한 스퍼터링 매개 변수가 특징입니다. 이 도구는 각기 다른 스퍼터링 간격 (sputtering gap) 구성을 빠르게 전환하여 코팅 두께를 쉽고 정확하게 제어하도록 설계되었습니다. 최대 8 개의 타겟을 병렬로 스퍼터링 할 수 있으며, 각 스퍼터 타겟은 독립적으로 작동 및 제어됩니다. 솔 가드 (Sol Guard) 기능은 자동으로 표적을 감소시켜 목표 연령에 따라 거리를 기질화하여 코팅 균일성을 유지합니다. 고성능 스퍼터링 에셋 외에도 EI 7 K에는 다양한 관련 액세서리 및 기술이 포함되어 있습니다. 고진공 압력 챔버, 소스 전원 공급 장치, 샘플 챔버, 게이트 밸브 및 블리더 라인이 장착되어 있습니다. 사용자는 또한 플라즈마 강화 화학 증기 증착 (PECVD), 자외선 경화, 에치 백 및 기타 특수 공정을 이용할 수 있습니다. 이 모델에는 안전 방패 (Safety Shield) 가 장착되어 있으며, 스퍼터링 과정에서 생성 된 유해 입자로부터 연산자를 보호합니다. 울박 (ULVAC) EI-7K 에는 다양한 정교한 진단 및 데이터 분석 툴이 포함되어 있어 프로세스 매개변수를 쉽게 검색하고 최적화할 수 있습니다. 포함된 소프트웨어는 프로세스 매개변수를 실시간으로 모니터링하고 제어할 수 있으며, 코팅 성능에 대한 자세한 보고서를 생성합니다. 이 소프트웨어에는 다중 스펙트럼 이미징 장비 (Multi Spectral Imaging Equipment) 가 있어 사용자가 서피스 단면의 코팅 두께를 확인할 수 있습니다. 이 시스템에는 또한 전기적 측정을위한 오실로스코프 (oscilloscope) 가 포함되어 있으며, 스퍼터링 표면과 소스를 정확하게 모니터링합니다. ULVAC EI 7 K 는 매우 다양하고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 (sputtering) 장치로서, 광범위한 애플리케이션에 최고 수준의 성능과 가치를 제공합니다. LCD 제조, 반도체 웨이퍼 처리, 데이터 스토리지, MEMS 등 다양한 업계에서 사용하기에 적합합니다. 견고한 디자인과 안정적인 성능을 갖춘 EI-7K 는 고품질의 초박형 필름 코팅을 위한 이상적인 스퍼터링 머신입니다.