판매용 중고 ULVAC EI-7K #9364550

ULVAC EI-7K는 정확한 제어 및 안정적인 성능을 제공하도록 설계된 고급 스퍼터링 장비입니다. 그것 은 여러 가지 기판 재료 에 극히 균일 하고 일관성 있는 "스퍼터 '식" 코우팅' 을 제공 할 수 있다. 이 약실 은 "스테인레스 '강 으로 만들어졌으며, 진공 상태 를 높일 수 있도록 조밀 한 물개 로 총" 가스' 절연 속도 가 매우 낮다. 3 구역 난방 시스템을 갖추고 있으며, 정밀한 열 제어로 최대 4,400 ° C까지 가열 할 수 있습니다. ULVAC EI 7 K는 또한 스퍼터 증착 과정에서 반응성 가스를 도입하는 데 사용될 수있는 독특한 설계 가스 유닛 (gas unit) 을 특징으로합니다. EI-7K는 최대 6,000rpm 회전하는 여러 방패로 구동되며, 스퍼터 대상은 푸미 오염을 방지하기 위해 쿼츠 사이드 방패로 보호됩니다. 쿼츠 크리스탈 모니터 (quartz crystal monitor) 는 셔터의 0.524 전력 밀도를 측정하여 프로세스의 최적의 조건을 유지하는 데 도움이됩니다. 따라서 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 적시에 조정하고 원하는 결과를 신속하게 얻을 수 있습니다. EI 7 K는 고객의 다양한 요구를 충족시키기 위해 몇 가지 추가 작업을 제공합니다. 1x1mm 정도의 작은 가공소재를 위해 설계된 이온 건 (ion gun) 이 있으며 스팟 스퍼터 프로세스에도 사용할 수 있습니다. 또한 배출 전류 모니터 (Emission Current Monitor) 와 고주파 (HF) 생성기를 사용하여 지역에 도달하기 어려운 스퍼터링을 수행합니다. 마지막으로, 디지털 컨트롤 머신 (digital control machine) 은 프로세스를 제어하고 모니터링하기 위한 강력한 기능을 갖춘 PC 에 연결할 수 있습니다. 결론적으로, ULVAC EI-7K는 다양한 기판에서 일관되고 균일 한 코팅을 위해 설계된 고급 스퍼터링 도구입니다. 이 제품은 다양한 고급 작동 옵션과 모니터 (안정적인 성능 및 정확한 제어 기능) 를 갖추고 있습니다. 따라서 광범위한 애플리케이션에 이상적인 솔루션이 될 수 있습니다.