판매용 중고 ULVAC EI-7K #9364549

ULVAC EI-7K
ID: 9364549
웨이퍼 크기: 2"-6"
E-Beam evaporation systems, 2"-6".
ULVAC EI-7K 는 광범위한 업종의 R&D, 제조, 생산 수준 활동 간의 협력을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 (sputtering) 장비입니다. 이 스퍼터링 시스템은 예금, 에칭, 박막 형성과 같은 다양한 응용 분야에 사용될 수 있습니다. ULVAC EI 7 K에는 전극이없는 출력과 조정 가능한 기판-목표 거리가 장착되어 있으며, 박막의 높은 증착률과 균일성을 제공합니다. 넓은 작업 공간 (Working Space) 을 갖추고 있어 보다 쉽게 작동하고 다양한 기판을 사용할 수 있습니다. 이 장치는 또한 금속, 산화물, 화합물 등 여러 가지 소스 물질을 지원할 수 있습니다. 기계의 아키텍처는 스퍼터링 챔버 (sputtering chamber) 와 대상 홀더 (target holder) 의 두 가지 주요 구성 요소로 구성됩니다. 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 에는 고효율 쿨러가 장착되어 챔버에서 균일 한 온도를 유지하는 데 도움이됩니다. 이 도구는 동일한 샘플에서 단일 (single) 또는 다중 (multiple) 스퍼터링 작업을 수행할 수 있으므로 대규모 생산에 이상적입니다. EI-7K 는 다양한 기능을 갖추고 있어 연구/운영 환경에 이상적인 솔루션이 됩니다. 이 컨트롤러에는 전압, 압력, 시간, 기판 온도 등의 스퍼터링 매개변수를 정확하게 제어할 수 있는 고성능 컨트롤러가 있습니다. 에셋은 또한 균일 한 필름 품질을 보장하는 자동 튜닝 모델을 갖추고 있습니다. EI 7 K 는 고급 성능 기능 외에도 다양한 안전 기능을 제공합니다. 이 "가스 '는 자동" 가스' 흐름 조절 장치 를 갖추고 있는데, 이 장치 는 위험 한 "가스 '가 작업 구역 으로 들어오는 것 을 방지 해 주며, 약실 에 잔여" 가스' 부피 를 유지 하는 데 도움 이 된다. 이 시스템은 또한 인력과 장비 보호를 위해 강렬한 전체 연동 장치 (Overall-Interlock Unit) 를 갖추고 있습니다. ULVAC EI-7K 는 강력한 스퍼터링 머신 (Sputtering Machine) 으로, 광범위한 업계에서 뛰어난 성능과 신뢰성을 제공하도록 설계되었습니다. 고급 기능 및 안전 시스템을 갖춘 ULVAC EI 7 K 는 박막용 리서치, 개발, 생산 수준 응용프로그램을 위한 완벽한 선택입니다.
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