판매용 중고 ULVAC EI-7K #293603154

ID: 293603154
웨이퍼 크기: 6"
E-Beam evaporators, 6".
ULVAC EI-7K는 기능, 정확성 및 유연성을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 박막 증착, 기판 에칭, 심지어 이온 보조 프로세스의 일종 인 AOI (AOI) 까지 광범위한 프로세스 옵션이 특징입니다. ULVAC EI 7 K는 모듈 식 설계를 가지고 있으며 3 개의 개별 주 구성 요소, 메인 챔버, 메인 프로세서 및 측정 및 분석 시스템으로 구성됩니다. 주 스퍼터링 챔버 (Sputtering Chamber) 는 쉽고 안정적인 작동과 매우 효율적인 스퍼터링 기능을 제공합니다. 또한 고급 안전 기능 (Advanced Safety Features) 과 컴퓨터 성능 관리 장치 (Computerized Performance Management Unit) 가 포함되어 있어 운영 효율을 높이고 원활하게 실행할 수 있습니다. 주 프로세서는 닫힌 루프 (closed loop) 및 피드백 (feedback) 시스템을 사용하여 배치 매개변수와 조건을 모니터링하고 제어합니다. 측정 및 분석 시스템 (Measurement and Analysis Machine) 은 다양한 방법으로 프로세스 결과를 안정적으로 모니터링하고 분석할 수 있는 기능을 제공합니다. 진공 "센서 '의 배열 은 정밀" 센서' 가 필름 두께 를 측정 하는 반면 에 "챔버 '는 정확 한 압력 으로 유지 된다. 이 도구는 또한 X 선 방출, 에너지 분산 분광법, 스캐닝 전자 현미경 등 필름 및 기판 특성을 평가하는 다양한 분석 기능을 제공합니다. EI-7K 는 표준 단일 소스 설정 (single source setup) 에서 복잡한 다중 소스 구성 (multi-source configuration) 에 이르기까지 다양한 스퍼터링 구성 옵션을 제공합니다. EI 7 K는 금속, 합금, 산화물 재료 등 다양한 물질을 퇴적시킬 수 있습니다. 이 자산은 또한 유리, 실리콘, 도자기 등 다양한 기판을 처리 할 수있는 기능을 제공합니다. 울박스 (ULVAC) EI-7K (EI-7K) 는 둥글고 다양한 기능을 통해 다양한 스퍼터링 요구 사항을 완벽하게 선택할 수 있습니다. 유연하고 사용자 친화적인 운영 방식을 통해 다용도 모델로, 사용자의 요구에 완벽하게 대처할 수 있습니다. 스퍼터링에서 정확성과 정밀도가 필요한 사람들에게는 ULVAC EI 7 K가 가장 이상적인 장비입니다.
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