판매용 중고 ULVAC EI-7K #293587277

ULVAC EI-7K는 재료의 박막 증착에 사용되는 스퍼터링 장비입니다. 진공 기술 전문 회사 인 ULVAC Technologies, Inc.에서 제조했으며 자체 혁신적인 프로세스 인 EI 기술 (아래 언급) 을 활용합니다. 이 시스템은 고효율 증착을 위해 설계되었으며, 산화물, 질화물, 옥시 니트 라이드, 금속 및 합금, 규소로 구성된 것을 포함하여 다양한 표적과 함께 사용할 수 있습니다. EI 기술은 챔버 내에서 스퍼터링 가스를 이온화하는 전용 이온 소스를 사용합니다. 이것 은 "에너지 '," 에너지' 확산 및 입사 각도 를 엄밀 히 제어 함 으로써 높은 "이온 '밀도 를 촉진 시켜, 광범위 한 물질 에 적합 한 균일 하고 효율적 인 증착 과정 을 이룬다. 다른 기능으로는 프로세스 제어 및 속도 최적화를 개선하기위한 2 개의 전자 승수가 있습니다. 또한, 이 장치에는 스퍼터 위치 (sputter position) 와 프로세스 시간 (process time) 을 표시하고 프로세스 관리를 향상시키는 두 개의 소형 모니터가 장착되어 있습니다. ULVAC EI 7 K에는 최소 챔버 압력이 5x10-5 Pa인 7 인치 더블 (이중) 로터리 스퍼터링 챔버가 있습니다. 별도의 가스 박스 및 가스 라인이 장착되어 있어 가스 활용도가 효율적입니다. 이 기계는 5 가지 유형의 목표를 지원합니다. COG, 스퍼터 및 리필 목표; 및 PCD (펄스 제어 왜곡) 대상. 효율적 인 "필름 '증착 을 위하여" 챔버' 에는 또한 자기장 의 방향 을 조절 할 수 있는 강력 한 자기장 발전기 가 갖추어져 있다. 이온 소스 매개변수를 정확하게 제어하려면 RF (무선 주파수) 플라즈마를 사용할 수 있습니다. EI-7K의 최대 웨이퍼 크기와 온도는 각각 300mm 및 400 ° C입니다. 궁극적으로, EI 7 K 스퍼터링 도구는 다른 재료의 고효율 증착에 적합한 선택입니다. 효율적이고 정확하며 유연합니다. 그것 은 "필름 '증착 을 쉽고 정확 하게 할 수 있도록 특별 히 설계 된 여러 가지 특징 을 가지고 있다. 이러한 이유로, 그것은 다양한 산업에서 사용할 수있는 훌륭한 선택입니다.