판매용 중고 ULVAC ei-7 #9247392

ULVAC ei-7은 일본 진공 기술 제조업체 인 ULVAC, Inc.에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 박막 코팅 재료를 만들기 위해 다양한 표면에 박막 (thin film) 을 배치하는 일종의 박막 증착 시스템입니다. Ei-7 (Ei-7) 은 컴퓨터 제어 머신과 다양한 전자 장치를 통합하여 스퍼터링 프로세스를 정확하게 제어 할 수있는 완전 자동화 장치 (fully automated unit) 입니다. ULVAC ei-7 도구는 DC (Direct Current) 스퍼터링을 사용합니다. 여기서 2 개의 전극이 고립 된 환경에서 생성되고 그 사이에 고전압이 적용됩니다. 음극은 기판 홀더이고, 양극은 음극 대상입니다. 전압 을 적용 하면, 표적 물질 의 "이온 '이 생성 되어 기판 을 향해 가속 되어" 박막' 이 표면 에 증착 된다. Ei-7에는 최대 효율성을 위해 부분적으로 동봉 된 증착실이 있습니다. 챔버 (Chamber) 의 디자인은 배플 자산을 특징으로하며, 교차 오염없이 균일 한 증착률을 유지하는 데 도움이됩니다. 이 모델에는 플라즈마 토치 (plasma torch) 가 포함되어 있어 대상 재료를 더 많이 스퍼터링할 수 있습니다. ULVAC ei-7에는 작동 상태를 보기 위한 LCD (Liquid Crystal Display) 패널과 증착 프로세스와 관련된 데이터를 기록하는 프린터 포트 (Printer Port) 가 장착되어 있습니다. 이 장비는 또한 압력 트랜스듀서를 사용하여 챔버의 압력을 모니터링하는 VIS (Vacuum Interlock System) 를 갖추고 있습니다. 이를 통해 원하는 필름 두께가 달성되고, 또한 갑작스런 압력 변화로부터 유닛을 보호하는 데 도움이됩니다. Ei-7은 금속, 산화물, 질화물 및 기타 전문 분야를 포함한 다양한 재료를 사용합니다. 이 "에너지 '는 광범위 한" 애플리케이션' 재료 를 지원 하도록 설계 되었으며 절연 회로 에 사용 할 수 있도록 유전층 을 증착 시키는 특별 한 기능 을 가지고 있다. 이 기계는 또한 매우 안정적이고 효율적이도록 설계되었습니다. ULVAC ei-7 (ULVAC ei-7) 은 다양한 박막 코팅 재료를 만들 수있는 고도로 고급적이고 효율적인 스퍼터링 도구입니다. 사용이 간편하고, 실시간 (real-time) 증착 프로세스를 모니터링할 수 있으며, 안정적이고 효율적입니다.