판매용 중고 ULVAC ei-6 #293758600

ULVAC ei-6은 첨단 기술 개발로 유명한 일본 회사 인 ULVAC에서 개발 한 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 스퍼터링 가스 (sputtering gas) 라는 이온화 된 가스를 사용하여 기판에 나노 미터 규모의 박막을 얇은 층으로 배치하도록 설계되었습니다. 이 과정을 스퍼터 증착 (sputter deposition) 이라고하며, 이는 저온 증착 방법입니다. Ei-6 스퍼터링 장치는 클러스터 유형 래더 구조 스퍼터링 소스로 구성됩니다. 이 "소오스 '는" 스퍼터링' "가스 '가 높은 방향 의 전기장 에 의하여 이온화 될 때 균일 한 증착 속도 를 내도록 설계 되었다. ULVAC ei-6은 고급 진공 기술뿐만 아니라 고급 자동 제어 시스템을 사용합니다. 이 기술은 프로세스 조건의 신뢰성을 보장하고, 증착 과정의 정확성을 향상시킵니다. 진공 챔버는 3면 벽이있는 스테인리스 스틸입니다. 챔버의 직경은 5.2 인치, 높이는 7 인치이며, 기판, 대형 자석과 같은 크고 작은 배치 용으로 설계되었습니다. Ei-6 에는 스퍼터링 (sputtering) 프로세스를 제어하고 모니터링할 수 있는 전원 공급 장치도 있습니다. 이 전원 공급 장치에는 4 채널 DC 소스, 6 채널 DC 소스 및 AC 소스가 있습니다. 최신 컨트롤러 (controller) 기술을 활용하고, 시스템에 통합되어 운영 및 모니터링을 최적화합니다. 이 도구는 또한 기본 챔버 (main chamber) 안팎으로 기판을 전송하는 데 사용되는 이중 암 (dual arm) 로봇 로더 (robotic loader) 와 같은 다양한 추가 기능을 갖추고 있습니다. 로더는 여러 단계를 갖추고 있으며 상태 감지 기능 (status detection function) 과 통합 가스 배출 장치 (integrated gas expelling unit) 를 갖추고 있습니다. ULVAC ei-6은 박막 증착을위한 고급적이고 안정적인 자산입니다. 나노 미터 규모의 박막 (Thin Film) 을 배치 할 때 높은 수준의 정확성을 보장하기 위해 제작되었으며, 효율적이고 안정적인 작동을 보장하기 위해 다양한 제어 시스템 및 로봇 로더를 갖추고 있습니다.