판매용 중고 ULVAC ei-5t #9284562

ID: 9284562
System.
ULVAC ei-5t는 진공 장비 및 시스템 산업의 주요 제조업체 인 ULVAC, Inc. (ULVAC, Inc.) 가 개발 한 스퍼터링 장비입니다. "스퍼터링 '을 사용 하여 금속 또는 화합물" 필름' 을 기판 에 증착 시키는 진공 증착 장치 이다. 스퍼터링 (Sputtering) 은 물질 원자를 표면에 배치하는 과정으로, 반도체, 자기 및 광학 장치에 이상적입니다. Ei-5t에는 2 개의 마그네트론 스퍼터 건이 장착 된 단일 스퍼터 챔버가 있습니다. 기판 재료에 따라 anodization 또는 ion beam 보조 프로세스를 수행 할 수 있습니다. 이 기계는 효율성을 높이고, 입자 오염을 줄이고, 일관된 필름 특성을 만들도록 설계된 다양한 기능을 가지고 있습니다. 이러한 기능에는 고속, 고정밀 필름 두께 모니터, 진공 시간을 줄이고 가스 백스트리밍을 줄이는 터보 분자 펌프 (Turbo Molecular Pump), 증착 속도를 높이고 스퍼터 마모를 줄이는 고주파 변조 스퍼터링 프로세스, 빠른 턴어라운드를 촉진하는 고급 셔터 도구, 우발적 오염 위험 감소. 이 자산에는 긴급 정지 스위치 (Emergency Stop Switch), 지상 처리 보호 모델, 가벼운 지붕 위험 (Light Roof Hazard) 보호 장비 등 여러 가지 안전 기능이 있습니다. 또한, 방주 방지를 위해 고급 전기 안전 시스템을 갖추고 있습니다. 최적의 증착 결과를 얻기 위해 ULVAC ei-5t에는 통합 제어 장치 (Integrated Control Unit) 가 장착되어 있으며, 여기에는 진공 전용 매개변수 설정, 대규모 볼륨 생산용 프로그램 자동화, 다양한 작업 작업에 대한 사전 설정 기술 등이 포함되어 있습니다. 또한 Ei-5t에는 고유 한 "멀티 스텝 작업" 및 "멀티 스텝 트레이서" 기술이 장착되어 있으므로 nano 스케일 패턴화와 같은 정교한 애플리케이션을 위해 복잡한 스퍼터링 프로세스를 프로그래밍 할 수 있습니다. 이 기계는 또한 "터보 스큐 (turbo skew)" 모드를 자랑하며, 효율적이고 정밀도가 높은 스퍼터링 프로파일을 제공하여 복잡한 모양과 넓은 표면적을 가진 부품에 스퍼터링 코팅 (sputtering coating) 과 같은 응용 분야에 이상적입니다. 전반적으로 ULVAC ei-5t 는 안정적이고, 효율적이며, 정확한 스퍼터링 툴로서 다양한 애플리케이션 요구 사항에 적합합니다. 영화 증착 응용 프로그램을위한 컴팩트하고, 합리적인 가격의 다기능 산업 등급 (Multifunctional Industrial-Grade) 자산이 필요한 사람들에게 탁월한 선택입니다.
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