판매용 중고 ULVAC ei-5t #293814829

ULVAC EI-5는 일본 최고의 진공 기술 및 박막 증착 장비 제조업체 인 ULVAC의 고정밀 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 성능을 극대화하기 위해 여러 기능이 장착되어 있으므로 다양한 연구, 개발, 생산 (production) 애플리케이션에 적합합니다. EI-5는 고급 스퍼터링 유닛으로, 고정밀 프로세스 제어 (high-precision process control), 다중 대상 구성, 넓은 작업 영역 등 다양한 기능을 제공합니다. 단일 열 구조로 만들어졌으며, 최대 400mm 직경의 웨이퍼를 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 높은 균일성과 뛰어난 재생성을 제공하여 다중 계층 구조를 생성하는 데 적합합니다. 고성능 표준 (HPD) 을 충족시키기 위해, 이 도구에는 넓은 영역에 균일 한 플라즈마를 생산하는 크로스 링크 플라즈마 발전기가 장착되어 있습니다. 이 고성능 플라스마를 통해 고밀도 증착 제어 (deposition control) 기능을 향상시켜 동질성이 향상된 레이어를 생산할 수 있습니다. 또한, 자산의 고정밀 제어는 증착 과정에서 입자와 전위 결함의 발생을 줄입니다. 이 모델은 멀티 타겟 (multi-target) 구성을 통해 단일 웨이퍼에서 다양한 재료를 처리 할 수 있습니다. 즉, 사용자는 다양한 종류의 레이어를 만들고, 하나의 장비에 다양한 종류의 구성을 만들 수 있습니다. 이 시스템은 또한 금속, 산화물, 반도체 등 다양한 물질을 처리 할 수 있습니다. 또한, 이 장치에는 비상 사태 발생 시 기계를 차단하는 자동 차단 메커니즘 (automatic shut-off mechanism) 과 같은 여러 안전 기능이 장착되어 있습니다. 게다가, 이 툴을 원격으로 모니터링할 수 있어, 사용자가 자신의 사무실에서 자산의 성능을 주시할 수 있게 해 줍니다 (영문). ULVAC EI-5 (ULVAC EI-5) 는 사용자 친화적이고 신뢰할 수 있는 스퍼터링 모델로, 여러 가지 고급 프로세스와 설계를 통해 매우 효율적이고 고품질의 증착 성능을 제공합니다. 이 장비는 광범위한 연구, 개발, 생산 및 수리 프로세스에 사용될 수 있습니다. 탁월한 정확도, 멀티 타겟 구성, 안전 기능을 갖춘 EI-5 는 모든 애플리케이션에 이상적인 스퍼터링 시스템입니다.