판매용 중고 ULVAC Ei-5K #9364552

ULVAC Ei-5K는 하드 코팅 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. ULVAC 제품 라인의 최신 개발 중 하나입니다. 이 시스템은 스퍼터링 소스를 쉽게 제어할 수있는 가스 관리 장치 (gas management unit) 와 정밀한 압력 제어를 위한 고급 동적 진공 설계 (dynamic vacuum design) 를 갖추고 있습니다. 이 기계는 1 ~ 2kW 전원으로 DC 및 RF 스퍼터링을 모두 제공하여 뛰어난 필름 균일성과 높은 증착률을 제공합니다. ULVAC EI 5 K는 또한 프로세스 안정성과 안정적인 결과를 극대화하는 강력한 기판 클램핑 도구를 갖추고 있습니다. Ei-5K는 Cool Torch 및 공정 챔버가 결합 된 8 개의 표적로드 잠금 챔버를 갖추고 있습니다. 이 챔버 (chamber) 는 대형 패널 (최대 610mm) 을 포함한 다양한 기판을 처리하는 데 적합합니다. 원통형 물체. 목표 부하 용량은 최대 8 개 대상이며 이중 가스 박스 자산이 있습니다. EI 5 K에는 다른 자석 및 기타 요소로 여러 증착 프로세스를 처리하기위한 독특한 지원 모델이 있습니다. 탁월한 프로세스 제어를 위해 ULVAC Ei-5K는 가스 누출을 감지하기위한 헬륨 누출 탐지기 (helium leak detector) 와 기판 온도를 모니터링 및 제어하기위한 최첨단 장비를 제공합니다. 또한 다양한 재료의 정확한 필름 증착을 가능하게하는 다중 세그먼트 전원 제어 시스템 (multi-segment power control system) 이 특징입니다. ULVAC EI 5 K에는 또한 컴퓨터 또는 PLC에 의한 원격 제어 및 데이터 로깅이 가능한 디지털 데이터 획득 장치 (digital data acquisition unit) 가 있습니다. Ei-5K (Ei-5K) 는 세라믹 부품, 의료 기기 및 ITO 박막 응용 프로그램 코팅과 같은 다양한 하드 코팅 어플리케이션에 적합한 선택입니다. 또한 Magnetron 및 Plasma Assisted Chemical Vapour Deposition (PACVD) 공정의 증착에도 적합합니다. 이 기계는 목표-기판 거리, 제한된 기판 가열, 탁월한 온도 조절의 놀라운 균일성과 안정성을 제공합니다. 안정적이고 뛰어난 결과를 얻기 위해 EI 5 K는 자동 청소, 자동 환기, 자동 고장, 자동 잠금 등의 다양한 자동 기능을 제공합니다. ULVAC Ei-5K는 고성능 하드 코팅 어플리케이션을 위해 노력하는 사람들에게 이상적인 선택입니다.