판매용 중고 ULVAC Ei-5K #9305863

ULVAC Ei-5K는 박막 (Thin Film) 을 정확하고 안정적으로 증착 할 수 있도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 고출력 펄스 바이어스 스퍼터링 및 전자 빔 어설 스퍼터링 모듈을 포함한 첨단 최첨단 기술을 자랑합니다. ULVAC EI 5 K는 다양한 재료의 빠른 증착을 위해 설계되어 금속 필름, 유전체 필름, 장치 구조의 형성을 가능하게합니다. Ei-5K는 정밀하게 제어 된 기판 차폐와 2 개의 별도 및 독립적으로 제어 된 가속 및 바이어스 소스를 위해 3 축 전동 모션 제어를 갖춘 수냉식 마그네트론 스퍼터링 소스를 특징으로합니다. 우수한 접착력과 화학량 론으로 금속 및 유전층의 균일 한 증착을위한 Thisallows. 통합 안정성, 고해상도 모니터링 시스템은 고품질 필름의 정밀 스퍼터링을 보장합니다. EI 5K의 전자 빔-어택 스퍼터링 모듈은 증착 된 금속 필름의 미세 구조를 미세하게 제어합니다. 이 모듈은 빔의 폭격 에너지와 플럭스를 정확하게 제어하여 응력 감소, 결정 성 향상, 필름 표면의 전진 산란 (forward scattering) 을 허용합니다. ULVAC Ei-5K 컨트롤러는 확산 장벽을위한 멀티 레이어 스택, 굴절률이 높은 인덱스 레이어, 로우-k 유전체 등 다양한 응용 프로그램에 대해 다양한 사전 프로그래밍 된 레시피를 특징으로합니다. ULVAC EI 5 K는 또한 플라즈마 균일성 증가를위한 개선 된 헬륨 백사이드 플라즈마 모듈을 특징으로하며, 안정화 된 온도에 대한 고급 자기 유체 역학 (MHD) 제어 및 플라텐 가공소재 좌석 중 변동 감소. 이 장치는 고출력 처리를 위해 설계되었으며, 전도성 및 비 전도성 금속 코팅, 유전체 필름 및 광학 레이어의 빠르고 균일 한 박막 증착 및 증착을 가능하게합니다. 마지막으로, 기계는 플래튼 트립 스위치, RF 플라즈마 발전기 (옵션), 공기 펌프, 가스 전달 시스템 및 깨끗한 가스 전달을위한 습도 펌프를 포함한 고급 안전 기능을 갖추고 있습니다. 이러한 모든 기능은 결합하여 Ei-5K를 반도체, 광전자 및 마모 방지 코팅 응용 프로그램에서 고정밀 박막 증착에 이상적인 선택으로 만듭니다.