판매용 중고 ULVAC Ei-5K #9302604

ULVAC Ei-5K 스퍼터링 장비는 고품질의 얇고 두꺼운 필름을 제작하기위한 최첨단 증착 시스템입니다. 그것 은 전통적 이고 신기한 "코우팅 '기술 을 결합 시켜 금속, 산화물, 질화물, 탄화물 및" 실리사이드' 등 여러 가지 재료 와 작용 할 수 있게 해 준다. ULVAC EI 5 K는 높은 정밀도, 초저열 질량 증착 및 높은 증착률이 필요한 어플리케이션에 이상적입니다. Ei-5K는 알루미늄, 몰리브덴, 구리, 크롬, 티타늄, 알루미나 및 석영을 포함한 다양한 기질에 적합합니다. 이 스퍼터링 장치에는 다양한 스퍼터 조건에서 최적화할 수있는 ULVAC E-line RF/ICP 소스가 장착되어 있습니다. 기계는 또한 E-Shield 및 E-coat와 같은 광범위한 방패를 수용 할 수 있습니다. EI 5 K는 처리량이 높은 복잡한 재료를 증착 할 수있는 이중 챔버 작동을 제공합니다. 마그네트론 소스 (magnetron source) 와 기판 단계 (substrate stage) 는 서로 반대 방향으로 구성하여 독립적 인 양방향 스퍼터를 만들 수 있습니다. 또한, 이 도구는 챔버 당 단일 대상부터 챔버 당 여러 대상까지 여러 대상을 수용합니다. ULVAC Ei-5K는 압력, 강착률, 온도, 식각 속도 등 다양한 매개 변수를 고려하여 다양한 재료의 고품질 필름을 생산할 수 있습니다. 뛰어난 성능을 위해 ULVAC EI 5 K는 동적 플라즈마 제어 에셋을 특징으로하며, 대상 흐름 속도, 전력 및/또는 기판 바이어스에 대한 실시간 모니터링 및 닫힌 루프 제어를 제공합니다. Ei-5K에는 증착 모니터 제어 모델 (deposition monitor control model) 이 장착되어 있어 공정의 모든 요소 (예: 두께, 증착률, 필름의 원자 함량) 를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 또한 이 장비는 사용자에게 간편한 프로세스 설정을 위한 GUI (그래픽 사용자 인터페이스) 를 제공합니다. 결론적으로, EI 5 K 스퍼터링 시스템은 고품질 얇고 두꺼운 필름의 증착을위한 뛰어난 도구입니다. 광범위한 기판 옵션 및 대상, 동적 플라즈마 제어, 정확한 증착 모니터링 등을 제공합니다. 이를 통해 ULVAC Ei-5K는 정밀도 및 초저열 질량 증착이 필요한 스퍼터링 어플리케이션에 이상적인 선택입니다.