판매용 중고 ULVAC Ei-5K #9248804

ULVAC Ei-5K (ULVAC Ei-5K) 는 샘플 표면에서 얇은 층의 재료를 증착하도록 설계된 스퍼터링 장비입니다. 평면 패널 디스플레이, optoelectronics, solar cell, disk drive 등 다양한 애플리케이션에 적합합니다. ULVAC EI 5 K는 직경이 최대 200mm 인 웨이퍼를 처리 할 수 있으며 통합 이온 클리닝 스테이션이 있습니다. 스퍼터링 시스템에는 ULVAC DR-100 다이오드 형 스퍼터링 소스가 있으며, 여기에는 4 개의 다른 재료를 동시에 증착하기위한 4 개의 음극이 포함됩니다. 조정 가능한 단계 (adjustable stage) 는 기판과 음극 사이의 스파크 거리를 정확하게 제어하여 일관된 레이어 두께 증착을 보장합니다. Ei-5K에는 디지털 기판 온도 센서 (DSTS) 도 있습니다. 이 고정밀 온도 센서를 사용하면 기판의 강착 온도를 정확하게 모니터링 할 수 있습니다. 스퍼터링 유닛 외에도, EI 5 K에는 이온 소스 및 이온 클리닝 랙을 포함하는 보조 섹션이 있습니다. 이온 소스는 이온 건 (ion gun) 과 통합 이온 소스 어댑터 (integrated ion source adapter) 로 구성되며, 스퍼터링 된 레이어의 균일성과 반복성을 정확하게 제어 할 수 있습니다. 통합 된 이온 클리닝 랙 (Ion Cleaning Rack) 은 입자와 표면 오염 물질을 제거하여 스퍼터 레이어의 균일성을 보장합니다. ULVAC Ei-5K (ULVAC Ei-5K) 는 사용하기 쉬운 기계로, 증착 과정을 제어하고 모니터링하기 위한 직관적인 소프트웨어 패키지입니다. 이 소프트웨어에는 증착을 실시간으로 보기 위한 그래픽 인터페이스 (graphical interface) 가 포함되어 있으므로 필요한 경우 증착 매개변수를 보다 정확하게 조정할 수 있습니다. ULVAC EI 5 K는 수동 또는 자동 작업 제어 모드 (Automated Job-Control Mode) 로 실행할 수 있으며, 증착 프로세스의 진행 상황에 대한 실시간 피드백을 제공하는 Endpoint Monitor도 있습니다. [자동 작업 제어] (Automated Job-Control Mode) 는 사용자가 매개 변수를 사용하여 배치 작업을 구성한 다음 작업이 완료될 때까지 도구를 자동으로 실행할 수 있도록 허용하기 때문에 대용량 증착 실행에 특히 유용합니다. 전반적으로, Ei-5K는 평면 패널 디스플레이에서 광전자 (optoelectronics) 및 태양 전지에 이르기까지 다양한 응용 분야에 이상적인 고성능 스퍼터링 자산입니다. 사용자 친화적이며 샘플 (sample) 표면에서 얇은 레이어 (thin layer) 의 재료를 증착하기위한 신뢰할 수있는 플랫폼을 제공합니다.