판매용 중고 ULVAC Ei-5K #9248803

ULVAC Ei-5K는 반도체 제작 및 항공 우주 응용 분야에 사용되는 단일 대상 금속 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 매우 높은 수준의 프로세스 제어를 제공하는 초고진공 스퍼터링 기술입니다. 다양한 프로세스 요청을 수용 할 수있는 대형 4.5 x 6 인치 스퍼터링 목표와 2 개의 5 인치 스퍼터링 헤드가 있습니다. 이 장치는 ULVAC 특허 ULVAC EI 5K 마그네트론 소스를 사용하여 스퍼터링 재료의 최대 이온화 및 최적의 목표 전력을 사용합니다. 이것은 표적의 이온 폭격을 증가시켜 물질 증착 균일성을 향상시킵니다. 이 기계의 높은 전력 수준 (high power level) 은 또한 높은 증착률과보다 효율적인 스퍼터링 프로세스를 달성 할 수 있도록 보장합니다. Ei-5K (Ei-5K) 는 대상 재료의 모양에 맞게 맞춤 될 수있는 완전 방향성 이온 소스를 특징으로합니다. 이것은 증착을 모니터링하고 고급 프로세스 제어를 허용하는 OES (Advanced Optical Emission Spectroscopy) 도구와 결합됩니다. 이 자산에는 고품질 증착을 위해 프로세스 환경을 최적화 할 수있는 가스 배달 (gas delivery) 모델도 장착되어 있습니다. 장비는 다기능이며 알루미늄, 구리, 크롬, 텅스텐과 같은 금속을 퇴적시킬 수 있습니다. 또한 유전체 및 반사 방지 코팅 응용 프로그램을위한 박막 (thin film) 을 입금하는 데 사용될 수 있습니다. 또한, 스퍼터링 시스템은 매우 다재다능하며, 구성 제어, 그라디언트 스퍼터링, 반응성 스퍼터링 등 다양한 기술을 수용 할 수 있습니다. EI 5 K는 뛰어난 증착 균일성과 반복 성을 제공하는 고성능 코팅 (coating) 전달 장치로 설계되었습니다. 또한 온도 범위가 -20C ~ + 150C 인 기판 홀더가 특징입니다. 이를 통해 코팅 과정에서 기판의 온도 조절 (temperate control) 이 가능하며, 이는 고품질 재료 증착을 보장하는 데 도움이됩니다. 전반적으로 ULVAC Ei-5K는 일관된 결과를 요구하는 금속 스퍼터링 애플리케이션을 위한 비용 효율적인 솔루션을 제공합니다. 첨단 기술과 고정밀 (high-precision) 프로세스의 조합은 안정적인 결과를 가져오며 운영 비용을 절감합니다. 이 스퍼터링 머신 (sputtering machine) 은 다양한 응용 프로그램에 적합하며 안정적이고 효율적인 코팅 도구를 제공합니다.