판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293824786

ULVAC Ei-5K는 박막 증착, 광학 코팅, 마이크로 일렉트로닉 장치 제작과 같은 응용 분야를 위해 설계된 스퍼터 증착 장비입니다. 이 시스템은 다양한 기능과 기능을 갖추고 있으며, 다양한 연구와 산업 응용프로그램을 제공합니다. 핵심에서, ULVAC EI 5 K는 기판 및 부품에 스퍼터 침착이 가능하여, 특정 균일 한 등각 코팅을 가능하게한다. 이 장치에는 5kW 다중 표적 다중 아크 마그네트론 스퍼터 소스가 장착되어 있으며, 여러 기판을 덮을 수 있습니다. 정밀 한 전원 공급 장치 는 "에너지 '의 정확 한 양 이 목표 에 전달 되도록 보장 해 주며, 통일 된" 코우팅' 을 할 수 있게 해 준다. 진행 중인 모니터 (in-process monitor) 는 수행 중인 증착 프로세스를 모니터링하여 증착 프로파일 변경 사항에 대한 실시간 피드백을 제공합니다. 또한 적용된 하중에 따라 매개변수를 조정하여 정확한 증착 프로파일 (deposition profile) 및 균일 코팅 (uniform coating) 을 허용합니다. 또한, 공정 "가스 '조절기 가 포함 되어 있어서" 아르곤' 또는 질소 "가스 '혼합물 을 도입 하여" 스퍼터링' 과정 을 더 잘 조절 할 수 있다. Ei-5K (Advanced Stage Movement Tool) 는 기판 로딩 및 언로드가 빠른 반면, 정확한 이동 프로파일을 통해 균일성이 높아집니다. 이는 자동 브리지, 정밀 x-y 스테이지 포지셔닝 에셋, 고속 기판 전송의 조합을 사용하여 수행됩니다. EI 5K는 또한 쉬운 운영자 상호 작용을 위해 설계되었습니다. 명확한 시청 챔버를 사용하면 원활한 프로세스 관찰 및 제어가 가능합니다. 직관적인 HMI (Human Machine Interface) 를 사용하면 매개변수를 쉽게 제어하고 전체 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 또한 프로세스 제어 (Process Control) 및 데이터 입수 (Data Acquisition) 를 위한 소프트웨어 툴을 사용하여 프로세스 데이터를 분석하여 품질과 안정적인 결과를 보장할 수 있습니다. 전반적으로 ULVAC Ei-5K는 다양한 응용 프로그램을위한 강력한 박막 증착 모델입니다. 가장 균일성, 정확한 제어, 반복 가능한 결과로 정확하고 반복 가능한 스퍼터링을 수행하도록 특별히 설계되었습니다.