판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293671659

ULVAC Ei-5K (ULVAC Ei-5K) 는 크고 작은 기판에 다양한 두꺼운 또는 얇은 필름 레이어를 배치하도록 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 이 시스템은 컨트롤러, 진공 챔버 및 이온 소스로 구성됩니다. 컨트롤러는 최적의 장치 작동을 유지하기 위해 챔버 (chamber) 와 이온 소스 (ion source) 의 입력 조정을 담당합니다. 간편한 업그레이드 및 전체 머신 제어가 가능한 사용자 친화적 인터페이스가 포함되어 있습니다 (영문). 또한 로봇 응용 프로그램을 구현하여 완전히 자동화 된 레이어 증착 프로세스를 제공합니다. 진공실은 직류 (DC) 스퍼터링, 비활성 또는 반응성 스퍼터링 등 다양한 증착이 발생하는 스퍼터링 영역 역할을합니다. 기존의 스퍼터 증착보다 최대 3 배 큰 하중을 처리하도록 설계되었습니다. 이 챔버에는 수냉식 자기 플라즈마 소스가 장착되어 있어 대상 재료의 이온화 (ionization) 가 증가합니다. 최적화된 DC 스퍼터링에는 이온 소스가 필요합니다. 표적 물질 (소스) 에서 기판 표면으로 작은 입자를 가속화하여 작동합니다. "이온 '원 은 또한" 스퍼터링' 내성 의 "에너지 '원 이며 용해 및 결정 성장 을 위한 열" 에너지' 원 역할 을 한다. 스퍼터 증착 (sputter deposition) 을 담당하는 이온은 기질의 원하는 영역에 집중 될 수있다. 요약하자면, ULVAC EI 5 K 스퍼터링 도구는 크고 작은 기판에서 두꺼운 필름과 얇은 필름의 효율적인 증착 과정을 위해 설계되었습니다. 사용자에게 친숙한 컨트롤러, 대형 진공 챔버, 이온 소스로 구동되는 이 자산은 최적의 성능, 일관된 결과를 약속합니다.