판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293636264

ULVAC Ei-5K는 효율적인 작동과 고정밀 제어를 결합한 스퍼터링 시스템입니다. 그것 은 얇은 "필름 '증착 -" 에너지' 성 "이온 '으로 표적 을 폭격 하여 기판 에 증착 시킴 으로써 물질 을 적용 하는 과정 - 에 적합 하다. 내부 컴팩트 디자인 (Internal Compact Design) 으로 제작 된 ULVAC EI 5K는 밀폐 된 음극 챔버를 사용하여 공정 가스에 대한 잠재적 노출을 줄이고 내부를 포획하여 정확한 제어를 허용합니다. Ei-5K에는 박막 증착에 이상적인 몇 가지 기능이 있습니다. 그것 은 독자적 으로 조정 할 수 있는 "이온 '화 및 증착 전압 을 가지고 있어서" 스퍼터링' 과정 을 정확 히 제어 할 수 있다. 또한, 구현 된 마그네트론 작업 (Implemented Magnetron Operation) 은 대상 기판에서 균일성을 보장하여 필름 두께를 균일하게 만듭니다. EI 5K는 또한 동일한 목표에서 두 개의 다른 재료를 공동 증착 할 수있는 이중 평면 마그네트론 (Dual Planar Magnetron) 을 갖추고 있습니다. 이 기능은 다중 계층 구조 (multilayer structure) 생성, 재료 특성 증가, 맞춤형 박막 설계 허용 등에 유용합니다. 또한, ULVAC Ei-5K는 자체 정렬 서스펜션 시스템 (self-aligning suspension system) 으로 인해 유지 보수 절차가 단순화되어 스퍼터링의 정확성과 반복성이 향상됩니다. 마지막으로, ULVAC EI 5 K에는 정밀 박막 증착을위한 다양한 구성 요소 및 도구가 있습니다. 정밀한 박막 증착을위한 로봇 암 (robotic arm) 과 공정 챔버에서 깨끗함을 유지하기 위해 진공 청소기 로봇 (vacuum cleaner robot) 이 있습니다. 또한 Video Monitor 및 PC 제어를 포함한 수많은 모니터링 및 제어 시스템이 있습니다. 전체적으로, Ei-5K는 고급 스퍼터링 시스템으로, 높은 정밀 제어, 효율적인 작동, 편리한 유지 관리 절차로 인해 박막 증착에 적합합니다. 이중 평면 마그네트론 (Dual Planar Magnetron) 과 옵션 로봇 암 (robotic arm) 은 증착 과정에 유연성과 사용자 정의를 제공하여 재료 특성을 높이고 박막 디자인을 조정합니다. 수많은 구성 요소와 도구를 사용하여 EI 5K는 박막 증착을 쉽고, 정확하고, 일관되게 만듭니다.