판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293607249

ULVAC Ei-5K는 ULVAC, Inc.에서 제조 한 다재다능한 스퍼터링 장비입니다. 자기 스퍼터 증착 도구 (magnetic sputter deposition tool) 이며, 낮은 진공, 스퍼터링 프로세스를 사용하여 얇은 필름이있는 기판 또는 기타 재료를 코팅합니다. ULVAC EI 5 K는 5 "자기 섹터 목표를 가지고 있으며 폭은 9" 로 더 다양합니다. 이 스퍼터링 시스템은 최고의 프로세스 효율성과 재현성을 제공하도록 설계되었습니다. Ei-5K 는 목표 격차 (Target Gap) 에서 압력 상승 (Pressure Rise) 에 이르는 매우 빠른 응답 시간을 제공하여 빠른 시작 및 반복성을 제공합니다. 또한, 이 장치는 효과적인 프로세스 제어를 위해 매우 낮은 전력 소비량과 내장 O 링 밀봉 장치를 가지고 있습니다. 이 기계는 또한 정확한 목표 대 기판 위치를 위해 멀티 포인트, 스테퍼 모터를 갖추고 있습니다. 최첨단 다이오드 플라즈마 (direct diode plasma) 와 같은 EI 5K의 고급 기능은 다양한 어플리케이션에 적합합니다. 탁월한 마스킹 및 섀도우 정밀도는 필름 코팅, 슈퍼 라틱, 복잡한 박막 구조 및 PVD 프로세스와 같은 다양한 고급 박막 증착 프로세스에 적합합니다. 이 도구는 뛰어난 정확도 외에도 매우 높은 수준의 공정 제어 (process control) 기능을 제공하여 고품질 박막 (thin film) 의 정밀 증착에 적합합니다. ULVAC Ei-5K는 또한 높은 처리량 응용 프로그램을위한 2 스테이션 웨이퍼 로드 락 챔버 (Wafer Load-Lock Chamber) 와 요구 사항에 맞는 유연한 자동화 옵션을 제공합니다. 전반적으로 ULVAC EI 5 K는 강력하고, 정확하며, 효율적인 증착 도구이며, 다양한 프로세스가 가능합니다. 탁월한 정확성, 낮은 전력 소비량, 강력하고 철저한 제어 프로세스를 통해 다양한 박막 증착 프로세스 (Thin-Film Deposition Process) 및 높은 처리량 어플리케이션에 적합합니다.