판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293604475

ULVAC Ei-5K 스퍼터링 장비는 금속, 반도체, 세라믹 기판 등 다양한 재료에 박막 증착에 사용되는 고성능, 다기능 시스템입니다. 평판 디스플레이 (flat panel display) 와 태양전지 (solar cell) 의 생산과 기타 여러 전자 기기의 생산에 주로 사용됩니다. ULVAC EI 5 K는 박막의 자동 스퍼터링 (auto-sputtering) 을 늘리는 한편, 개선 된 기판 및 필름 균일성, 우수한 접착 특성, 낮은 오염 수준 및 짧은 처리 시간을 제공하도록 설계되었습니다. Ei-5K는 5 킬로와트 (Kilowatt), MF (Medium Frequency) DC 마그네트론 전원 공급 장치를 갖추고 있어 다양한 금속 및 기타 재료를 스퍼터팅 할 수 있습니다. 2 개의 음극 대상을 갖추고 있으며, 사전 처리 챔버, 증착실 및 2 개의 열량 챔버를 포함하여 4 개의 공정 챔버가 있습니다. 이 장치는 최대 6.7 인치 (17cm) 의 기판을 처리 할 수 있으며, 처리 속도는 시간당 최대 40 웨이퍼 또는 최대 13인치 (33cm) 의 단일 웨이퍼를 사용할 수 있습니다. EI 5 K는 자동화되어 LCD 터치스크린 운영자 제어 및 내장 안전 연동, 프로그래밍 가능한 시퀀스 제어, 프로세스 제어 소프트웨어, 자동 및 수동 제어 모드를 갖추고 있습니다. 또한 기판 퇴기 용 진공실, 자동 및 직관적 인 샘플 로딩/언로드 기계, 다양한 옵션 액세서리 (옵션) 가 포함되어 있습니다. 고급 기능 세트를 사용하면 기존 운영 라인에 쉽게 통합할 수 있습니다. ULVAC Ei-5K (ULVAC Ei-5K) 는 뛰어난 정밀도 및 반복성으로 유명하며, 낮은 수준의 프로세스 제어를 통해서도 일관되고 정확한 결과를 얻을 수 있습니다. 저입자 수 (low particle count), 로우 프로파일 (low-profile) 설계, 전력 소비량 감소 등을 통해 에너지 효율성이 뛰어난 솔루션을 손쉽게 설치할 수 있습니다. 이 도구는 다양한 가스와 호환되므로 생산 요구 사항의 유연성을 높일 수 있습니다. 전반적으로, ULVAC EI 5 K 스퍼터링 자산은 효과적이고, 다재다능하며, 다양한 기판에 박막 증착을위한 도구를 사용하기 쉽고, 다양한 응용 분야에 적합합니다. 이 제품은 안전하고, 안정적이며, 비용 효율적인, 빠르고 경제적인 솔루션을 제공하므로, 상용/산업용 애플리케이션을 위한 최적의 솔루션입니다.