판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293603151

ULVAC Ei-5K는 박막 증착을 위해 설계된 스퍼터링 장비입니다. 높은 처리량을 위해 설계된 산업용 스퍼터링 시스템입니다. 이 장치에는 이중 마그네트론 스퍼터링 소스 (magnetron sputtering source) 가 있으며, 여러 재료를 기판에 동시에 증착 할 수 있습니다. 기계는 또한 회전 가능한 목표물과 더 나은 균일성을 달성하는 데 도움이되는 큰 거친 피치 (pitch) 를 포함합니다. 이 도구에는 최대 5,000mm ^ 2 기판을 수용할 수있는 대형 챔버 (chamber) 가 있어 처리량이 높고 로딩 시간이 단축됩니다. 기판 "마운트 '는 동력 으로 되어 기판 을 신속 히 적재 하고 언로드 할 수 있으며, 기판 회전 을 허용 한다. 에셋은 고급 고온 난방 요소와 증착 중 기판의 조절 가능한 냉각 모델 (cooling model) 을 특징으로합니다. 챔버에는 챔버에서 입자를 효과적으로 제거하고 깨끗한 작동을 보장 할 수있는 Class 100 Cleanroom 누출 여과 장비가 장착되어 있습니다. 시스템의 제어 및 모니터링은 ULVAC 원본 RIB 제어 장치로 수행됩니다. 이를 통해 증착 중 스퍼터링 레시피 매개변수의 실시간 분석, 조정 및 최적화가 가능합니다. 이 기계에는 동시 증착 최적화 및 장애 감지를 위한 다중 작업 실행 방법이 있습니다. RIB 제어 도구는 또한 기판 온도, 압력, 호 억제 전류 및 기판 바이어스 전압의 모니터링을 허용합니다. ULVAC EI 5 K는 Si 웨이퍼 OLED 디스플레이 코팅, 메모리 장치 및 3D 구조 장치와 같은 다양한 응용 프로그램을 제공했습니다. 이 스퍼터링 에셋 (sputtering asset) 은 박막 (thin film) 을 생성하기 위해 높은 처리량과 정확한 제어가 필요한 모든 애플리케이션에 적합합니다. 이 모델은 최대의 유연성을 제공하므로, 사용자가 원하는 요구에 맞게 레시피를 손쉽게 조정할 수 있습니다. Ei-5K는 매우 정확한 박막 증착에 적합한 강력하고 신뢰할 수있는 스퍼터링 장비입니다.