판매용 중고 ULVAC Ei-5K #293592010

ULVAC Ei-5K는 실험실 및 산업 응용 프로그램을 위해 설계된 고성능 스퍼터링 장비입니다. 전자동 증착 시스템 (Fully Automated Deposition System) 으로, 기판에 재료를 안정적이고 반복적으로 증착 할 수 있습니다. ULVAC EI 5 K는 ULVAC Plasmaless Sputtering Method를 포함하여 여러 프로세스 기능을 갖춘 고급 스퍼터링 도구 솔루션을 제공하여 높은 증착률, 고품질 필름, 탁월한 필름 대 필름 반복성을 제공합니다. Ei-5K에는 5 개의 스퍼터링 음극으로 구성된 표준 구성이 포함되어 있으므로 5 개의 다른 대상 재료가 증착 될 수 있습니다. 각 음극은 각기 다른 이온 밀도 (ion densities) 와 가스 유속 (gas flow rate) 에 맞게 개별적으로 조정될 수 있으므로 다양한 옵션이 제공됩니다. 또한, EI 5 K는 헤더를 수용하여 여러 대상 재료의 동시 증착 또는 원격 플라즈마 강화 된 재료 증착을 가능하게한다. ULVAC Ei-5K에는 ULVAC 고급 다단계 엔드 포인트 탐지 장치 (전체 증착 과정을 제어 할 수 있음) 도 포함되어 있습니다. 이 머신 (machine) 을 사용하면 배치 중인 재료의 두께를 모니터링할 수 있고, 프로세스가 완료된 시점을 정확하게 확인할 수 있습니다. 또한 올바른 양의 재료가 증착되어 다중 실행 (multiple run) 에 걸쳐 반복 가능한 결과가 발생합니다. 또한, ULVAC EI 5 K를 사용하면 목표 각도, 전력 밀도, 스퍼터링 재료와 같은 증착 매개 변수를 조정하여 프로세스 매개 변수를 세밀하게 조정하고 응용 프로그램에 대한 필름을 최적화 할 수 있습니다. 또한, 강력한 전용 소프트웨어를 사용하면 데이터를 저장하고 저장할 수 있으며, 이를 통해 이전 설정을 빠르고 쉽게 리콜하거나, 증착 (deposition) 프로세스를 모니터링할 수 있습니다. 전반적으로, Ei-5K는 신뢰성, 반복 가능, 고품질 필름을 위해 다양한 기능을 제공하는 고급 스퍼터링 도구입니다. EI 5 K 는 다양한 프로세스 기능, 정교한 종단점 감지 자산, 직관적인 사용자 인터페이스를 통해 시스템을 손쉽게 작동하고 최적의 결과를 얻을 수 있습니다.